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Entwicklung einer Dünnschichttechnologie zur Herstellung von gasempfindlichen Metallschichten für die Gassensorik - Neuartiger elektrochemischer Dünnschichtsensor zur Messung von Schadgasen

Description: Das Projekt "Entwicklung einer Dünnschichttechnologie zur Herstellung von gasempfindlichen Metallschichten für die Gassensorik - Neuartiger elektrochemischer Dünnschichtsensor zur Messung von Schadgasen" wird/wurde gefördert durch: Arbeitsgemeinschaft Industrieller Forschungsvereinigungen 'Otto-von-Guericke' e.V. / Bundesministerium für Wirtschaft und Arbeit. Es wird/wurde ausgeführt durch: Technische Universität Dresden, Institut für Festkörperelektronik.Entwicklung einer Sputtertechnologie zur Herstellung aktiver Sensorschichten, Herstellung von Testmustern für elektrochemische NOx Dünnschichtsensoren, Entwicklung von Messverfahren zur Bewertung von Dünnschichten für elektrochemische Gassensoren.

Types:
SupportProgram

Origins: /Bund/UBA/UFORDAT

Tags: Dresden ? Elektrochemie ? Sensor ? Elektrotechnik ? Messtechnik ? Stickoxide ? Bewertungsverfahren ? Messverfahren ? Schadstoffanalyse ? Schadstoff ? Dünnschichtsensoren ? Sputtertechnologien ?

Region: Sachsen

Bounding boxes: 10.40664° .. 10.40664° x 49.29433° .. 49.29433°

Marker

License: cc-by-nc-nd/4.0

Language: Deutsch

Organisations

Time ranges: 2000-11-01 - 2002-12-31

Status

Quality score

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