Description: Das Projekt "Entwicklung einer Dünnschichttechnologie zur Herstellung von gasempfindlichen Metallschichten für die Gassensorik - Neuartiger elektrochemischer Dünnschichtsensor zur Messung von Schadgasen" wird/wurde gefördert durch: Arbeitsgemeinschaft Industrieller Forschungsvereinigungen 'Otto-von-Guericke' e.V. / Bundesministerium für Wirtschaft und Arbeit. Es wird/wurde ausgeführt durch: Technische Universität Dresden, Institut für Festkörperelektronik.Entwicklung einer Sputtertechnologie zur Herstellung aktiver Sensorschichten, Herstellung von Testmustern für elektrochemische NOx Dünnschichtsensoren, Entwicklung von Messverfahren zur Bewertung von Dünnschichten für elektrochemische Gassensoren.
SupportProgram
Origins: /Bund/UBA/UFORDAT
Tags: Dresden ? Elektrochemie ? Sensor ? Elektrotechnik ? Messtechnik ? Stickoxide ? Bewertungsverfahren ? Messverfahren ? Schadstoffanalyse ? Schadstoff ? Dünnschichtsensoren ? Sputtertechnologien ?
Region: Sachsen
Bounding boxes: 10.40664° .. 10.40664° x 49.29433° .. 49.29433°
License: cc-by-nc-nd/4.0
Language: Deutsch
Time ranges: 2000-11-01 - 2002-12-31
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