Teilvorhaben: Abscheidung von passivierenden amorphen Siliziumschichten mittels APCVD und nasschemische Erzeugung von Grenzflächenoxiden

Description: Das Projekt "Teilvorhaben: Abscheidung von passivierenden amorphen Siliziumschichten mittels APCVD und nasschemische Erzeugung von Grenzflächenoxiden" wird vom Umweltbundesamt gefördert und von Gebr. Schmid GmbH durchgeführt. Im Vorhaben KOMPASS sollen die poly-Si/c-Si Übergänge mit Grenzflächenoxid zur Herstellung von rekombinationsarmen Si-Solarzellen den bisherigen rückseitigen Basiskontakt von sowohl p-Typ als auch n-Typ Solarzellen ersetzen. Gleichzeitig soll während der Temperaturbehandlung des Grenzflächenoxids und der Herstellung des poly-Si aus dem a-Si der vorderseitige Emitter durch Diffusion aus einer CVD-Quelle erfolgen. Um diese Art Heteroübergänge in gegenwärtige produktionsrelevante Solarzellenprozesse zu integrieren, soll im Vorhaben KOMPASS erstmals APCVD (Atmospheric Pressure Chemical Vapor Deposition) anstatt PECVD (Plasma Enhanced CVD) zur poly-Si-Abscheidung eingesetzt werden. Aufgrund des nicht notwendigen Vakuums ist die APCVD-Technologie, die vom Projektpartner SCHMID bereits für andere Anwendungen kommerzialisiert wurde, potentiell günstiger als PECVD. Das Gesamtziel dieses Vorhabens ist es daher, kostengünstige Prozesse für n-dotierte und p-dotierte poly-Si Schichten unter Verwendung von APCVD-Prozessen zu entwickeln, die eine signifikante Reduktion der Rekombinationsstromdichten der passivierten und metallisierten Bereiche erlauben.

Types:

SupportProgram

Origin: /Bund/UBA/UFORDAT

Tags: Luftdruck ? Brüden ? Oxid ? Photovoltaik ? Solarzelle ? Emissionsquelle ? Beschichtung ? Gasförmiger Stoff ? Abscheidung ? Anwendungstechnik ? Chemikalien ? Kostensenkung ? Produktionskosten ? Produktionstechnik ? Deposition ? Nassverfahren ? Thermisches Verfahren ? Chemische Reaktion ? Diffusion ? Grenzschicht ? Technische Aspekte ? Physikalischer Vorgang ? Atmospheric Pressure Chemical Vapor Deposition (APCVD) ? Polykristalline Solarzelle ? Rekombinationsstrom ?

Region: Baden-Württemberg

Bounding box: 9° .. 9° x 48.5° .. 48.5°

License: cc-by-nc-nd/4.0

Language: Deutsch

Organisations

• Bundesministerium für Wirtschaft und Klimaschutz (Bereitsteller*in)
• Gebr. Schmid GmbH (Betreiber*in)
• Umweltbundesamt (Bereitsteller*in)

Time ranges: 2016-05-01 - 2019-04-30

Resources

• Webseite zum Förderprojekt

  https://www.tib.eu/de/filter/?repno=0324042A (Webseite)

Status

Aktiv

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