Entwicklung von Prozess und Fertigungstechniken von 'Tunnel Oxide under Contacts on n-Type Silicon Solar Cells' evolutionär, hin zur industriellen Fertigung, Teilvorhaben: Optische Messtechnik

Description: In TOUCAN Evolution sollen alle Prozessschritte der TOPCon Prozessroute untersucht werden, um den Wirkungsgrad der Technologie weiter iterativ zu steigern, wobei der Fokus des Projekts auf den Prozessschritten abseits der Polysiliciumabscheidung und auf der Charakterisierung liegt. Gerade die nasschemischen Prozessschritte und der Emitterdiffusionsprozess sollen hin zur Marktreife optimiert werden und auf Kosteneffizienz getrimmt werden. Durch die Entwicklung von verbesserter Prozess- und Endkontrolle soll der Produktionsertrag gesteigert werden gerade im Hinblick auf die Nutzung für Anwendungen im Bereich der Aufdach- und Fassadenmodule. Während im Rahmen der Prozessentwicklung und -optimierung im Labor noch Charakterisierung mit hohem Aufwand und an Laborgeräten mit geringen Durchsätzen, wenn auch nicht immer gewünscht, so doch zumindest möglich ist, wird spätestens mit der Einführung der Prozesse in eine Pilot- oder Produktionslinie und höheren Durchsätzen der Wunsch nach einer inline-Kontrolle, nach Möglichkeit mit 100% Prüfung, laut. Dies ist das Thema, mit welchem sich die ISRA in diesem Projekt beschäftigen wird: die Entwicklung von Grundlagen zur Vermessung der für die jeweiligen Prozesse relevanten Probeneigenschaften mittels Verfahren, welche für eine Inline-Anwendung tauglich sind.

SupportProgram

Tags: Silikon ? Messtechnik ? Industrieproduktion ? Produktionstechnik ? Wirkungsgrad ? Kosteneffizienz ? Evolution ?

Region: Hessen

Bounding boxes: 9° .. 9° x 50.55° .. 50.55°

License: Creative Commons Namensnennung-keine Bearbeitung-Nichtkommerziell 4.0

Language: Deutsch

Organisations

• Bundesministerium für Wirtschaft und Energie (Finanzielle Förderung)
• ISRA VISION GmbH (Projektverantwortung)
• Umweltbundesamt (Bereitstellung)

Time ranges: 2025-06-01 - 2028-05-31

Alternatives

• Language: Englisch/English
  Title: Sub-project: Optical metrology
  Description: In TOUCAN Evolution, all process steps of the TOPCon process route are to be investigated in order to further iteratively increase the efficiency of the technology, with the focus of the project being on the process steps apart from polysilicon deposition and on characterization. The wet-chemical process steps and the emitter diffusion process in particular are to be optimized towards market maturity and trimmed for cost efficiency. Through the development of improved process and final control, the production yield is to be increased, particularly with regard to use for applications in the field of rooftop and façade modules. While in the context of process development and optimization in the laboratory characterization with high effort and on laboratory equipment with low throughputs is, if not always desired, at least possible, the desire for an inline control, if possible with 100% testing, becomes loud at the latest with the introduction of the processes in a pilot or production line and higher throughputs. This is the topic that ISRA will address in this project: the development of basic principles for measuring the sample properties relevant to the respective processes using methods that are suitable for inline application. https://ufordat.uba.de/UFORDAT/pages/PublicRedirect.aspx?TYP=PR&DSNR=1139991

Status

Aktiv

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