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Teilprojekt: Generatorentwicklung 40. 68 MHz für Plasma-Anwendungen

Description: Das Projekt "Teilprojekt: Generatorentwicklung 40. 68 MHz für Plasma-Anwendungen" wird vom Umweltbundesamt gefördert und von Hüttinger Elektronik GmbH + Co. KG durchgeführt. Ziel des Teilvorhabens der Hüttinger Elektronik ist die Entwicklung des Demonstrators eines Plasma-Generators mit einer Arbeitsfrequenz von 40,68 MHz bei einer Ausgangsleistung von 6 kW. Der Generator soll eine störungsfreie Betriebsdauer von mindestens 17 000 Stunden und einen Wirkungsgrad deutlich über 50 Prozent erreichen. Mit diesen Kenndaten würde der Generator eine Alleinstellung auf dem Markt einnehmen und die Anforderungen des neuen Plasmabeschichtungsprozesses für Dünnschicht-Photovoltaikzellen hinsichtlich gesteigerter Abscheiderate, Zuverlässigkeit und Wirtschaftlichkeit erfüllen. Durch eine ebenfalls zu entwickelnde Matchbox für diese Frequenz-/Leistungskombination soll eine dynamische Anpassung der Impedanz der Plasmakammer an die Ausgangsimpedanz des Generators möglich werden. So werden reflektierte Leistungen minimiert und damit der Wirkungsgrad maximiert. Das Teilvorhaben der Hüttinger Elektronik umfasst die Entwicklung der Generatorkomponenten (Frequenzgenerator, Vorverstärker, Verstärker, Power Splitter, Power Combiner, Steuerung, Modulkontrolle, Richtkoppler, Detektor, Matchbox) und die Integration des Gesamtsystems sowie umfangreiche Prüf- und Qualifizierungsmaßnahmen zur Erzielung und Verifikation des angestrebten Wirkungsgrads und der Lebensdauer. Außerdem erfolgt eine Integration des Generators in die PECVD-Versuchsanlage mit ausgiebigen Praxistests und anschließender Überarbeitung und Optimierung des Systems.

Types:

SupportProgram

Origin: /Bund/UBA/UFORDAT

Tags: Plasmatechnik ? Elektronik ? Sensor ? Silizium ? Regeltechnik ? Solartechnik ? Beschichtung ? Energie ? Energietechnik ? Generator ? Produktionstechnik ? Wirkungsgrad ? Wirtschaftlichkeit ? Kenngröße ? Kennzahl ? Versuchsanlage ? Effizienzsteigerung ? Abscheiderate ? Dünnschichtmodul [Solarzelle] ? Haltbarkeit ? Zuverlässigkeit ?

Region: Baden-Württemberg

Bounding box: 9° .. 9° x 48.5° .. 48.5°

License: cc-by-nc-nd/4.0

Language: Deutsch

Organisations

Time ranges: 2011-07-01 - 2014-10-31

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Status

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