EpiPower: Prozess-und Anlagenentwicklung für epiaktisch prozessierte Wafer, Teilvorhaben: Entwicklung von Hochdurchsatz inline-Anlagen für anodisch geätzte poröse Siliziumschichten

Description: Ein wesentlicher Teilschritt der neuartigen EpiWafer-Technologie ist die Porosizierung eines Silizium-Saatwafers mittels elektrochemischen Ätzens zur Erzeugung einer Ablöseschicht. Das Vorhaben behandelt schwerpunktmäßig die Entwicklung und Konstruktion einer Inline-Produktionsanlage für die anodische Porosizierung von Silizium mit einem Durchsatz von größer als 6000 Wafern/Stunde. Damit ist es möglich, die EpiWafer-Technologie in die industrielle Anwendung zu überführen.

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Tags: Substrat ? Elektrochemie ? Photovoltaik ? Silizium ? Solarzelle ? Verfahrensoptimierung ? Produktionstechnik ? Verfahrenstechnik ? Bauteil ? Industrielles Verfahren ? Effizienzsteigerung ? Anlagentechnik ? Epitaxie ? Kristallisation ? Porosität ? Ätzmittel ?

Region: Bayern Bayern

Bounding boxes: 8.980116870810098° .. 13.839424358777723° x 47.27036232638313° .. 50.564452934875554°

License: Creative Commons Namensnennung-keine Bearbeitung-Nichtkommerziell 4.0

Language: Deutsch

Organisations

• Bundesministerium für Wirtschaft und Energie (Finanzielle Förderung)
• Singulus Technologies AG - Niederlassung Fürstenfeldbruck (Projektverantwortung)
• Umweltbundesamt (Bereitstellung)

Last harvest: 06.10.2026 00:50

Time ranges: 2016-11-01 - 2018-10-31

Resources

• Webseite zum Förderprojekt

  https://www.tib.eu/de/filter/?repno=0324135C (Webseite) ✓

Status

Aktiv

Quality score

• Overall: 0.42
• Findability: 0.46

  • Title: 0.80
  • Description: 0.09
  • Identifier: false
  • Keywords: 0.69
  • Spatial: BoundingBox (0.50)
  • Temporal: DomainOnly
• Accessibility: 0.67

  • Landing page: Specific (1.00)
  • Direct access: false
  • Publicly accessible: true
• Interoperability: 0.00

  • Open file format: false
  • Media type: false
  • Machine-readable metadata: false
  • Machine-readable data: false
• Reusability: 0.57

  • License: ClearlySpecifiedAndFree (1.00)
  • Contact info: false
  • Publisher info: true
  • Currentness: Older (0.29)

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