Teilvorhaben: Anpassung eines VHF- Linearquellen Reaktorraumes für Folienbeschichtung im Durchlaufverfahren

Description: Das Projekt "Teilvorhaben: Anpassung eines VHF- Linearquellen Reaktorraumes für Folienbeschichtung im Durchlaufverfahren" wird vom Umweltbundesamt gefördert und von FAP Forschungs- und Applikationslabor Plasmatechnik GmbH Dresden durchgeführt. Für eine bestehende Durchlaufanlage der TU Dresden mit Folienwickeleinrichtung wird eine PECVD-Linienquelle für die Abscheidung von a-Si:H und Mikro c-Si:H-Schichten auf Folien mit folgenden Zielen entwickelt: - Anpassung des Entladungsraumes an die besonderen geometrischen Gegebenheiten der Folie, - VHF-Tauglichkeit für hohe Depositionsraten, - LQ für Deposition auf Folien bei niedrigen Temperaturen geeignet - preiswerter, skalierbarer Aufbau für hohe Arbeitsdrücke geeignet, - minimale parasitäre Depositionen außerhalb des Reaktionsraumes. Nachfolgende technische Arbeitsziele sollen im Rahmen des Projektes von der FAP bearbeitet werden: - Umbau eines Linienquellen-PECVD-Systems einschließlich deren VHF-Leistungseinkopplung für den Frequenzbereich 80 ... 150 MHz speziell für Folienwickelsysteme; - Optimierung des Beschichtungsbereiches/Transportsystems (Erdung), homogene Entladungsausbildung, Entladung ohne parasitäre Plasmen; - partikelarmer Reaktionsraum während der Beschichtung; - Untersuchung verschiedener Entladungsraumgestaltungsvarianten; - Untersuchung der Prinzipien für die Aufskalierung der Linienquelle für höhere Bearbeitungsbreiten.

Types:

SupportProgram

Origin: /Bund/UBA/UFORDAT

Tags: Plasmatechnik ? Dresden ? Substrat ? Elektromagnetisches Feld ? Photovoltaik ? Solarzelle ? Anlagenoptimierung ? Temperatur ? Verfahrenskombination ? Verfahrensoptimierung ? Beschichtung ? Qualitätsmanagement ? Gasförmiger Stoff ? Partikelminderung ? Abscheidung ? Depositionsrate ? Produktionstechnik ? Deposition ? Linienquelle ? Chemische Reaktion ? Verkehrssystem ? Verunreinigung ? Physikalischer Vorgang ? Abscheiderate ? Amorphe Solarzelle ? Plasmaunterstützte chemische Gasphasenabscheidung ?

Region: Sachsen

Bounding box: 10.40664° .. 10.40664° x 49.29433° .. 49.29433°

License: cc-by-nc-nd/4.0

Language: Deutsch

Organisations

• Bundesministerium für Umwelt, Naturschutz, nukleare Sicherheit und Verbraucherschutz (Bereitsteller*in)
• FAP Forschungs- und Applikationslabor Plasmatechnik GmbH Dresden (Betreiber*in)
• FHR Anlagenbau GmbH (Mitwirkende)
• Forschungszentrum Jülich GmbH, Institut für Energie- und Klimaforschung (IEK), IEK-5: Photovoltaik (Mitwirkende)
• Fraunhofer-Institut für Organische Elektronik, Elektronenstrahl- und Plasmatechnik (Mitwirkende)
• Leibniz-Institut für Festkörper- und Werkstoffforschung Dresden e.V. (Mitwirkende)
• Technische Universität Dresden, Institut für Halbleiter- und Mikrosystemtechnik (Mitwirkende)
• Umweltbundesamt (Bereitsteller*in)

Time ranges: 2012-10-01 - 2015-09-30

Resources

• Webseite zum Förderprojekt

  https://www.tib.eu/de/filter/?repno=0325442B (Webseite)

Status

Aktiv

Quality score

• Overall: 0.41
• Findability: 0.48

  • Description: 0.00
  • Identifier: false
  • Keywords: 0.88
  • Spatial: RegionIdentified (1.00)
  • Temporal: true
• Accessibility: 0.50

  • Landing page: Unknown (0.00)
  • Direct access: false
  • Publicly accessible: true
• Interoperability: 0.00

  • Open file format: false
  • Media type: false
  • Machine-readable metadata: false
  • Machine-readable data: false
• Reusability: 0.67

  • License: ClearlySpecifiedAndFree (1.00)
  • Contact info: false
  • Publisher info: true

Accessed 1 times.