Chemische Gassensoren in Duennschichttechnik

Description: Prototypen chemischer Sensoren sollen in Duennschicht-Technologie mit integrierter Heizung und Temperaturmessung hergestellt werden. Als Messprinzipien werden resistive, kapazitive und thermische Effekte der Sensor/Teilchen-Wechselwirkung ausgenutzt. Durch geeignete Wahl und Modifizierung der chemisch sensitiven Schichten auf den Prototyp-Grundstrukturen sollen Reproduzierbarkeit, Langzeitstabilitaet und Spezifitaet der Sensoren und Sensorarrays optimiert werden. Die Sensoren sollen zum selektiven Nachweis von Gasen wie CO2, O2, H2O, NOx, C und CH4 in Luft dienen.

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Tags: Ozon ? Gasanalyse ? Kohlenstoff ? Sensor ? Kohlendioxid ? Methan ? Stickoxide ? Leitfähigkeit ? Luftanalyse ? Messverfahren ? Heizung ? Temperaturmessung ? Chemische-Sensoren ? Chemometrie ? Duennschichtstrukturen ? Elektronische-Leitfaehigkeit ? Gasanalytik ? Langzeitstabilitaet ? Prototyp ? Schadstoffnachweis ?

Region: Baden-Württemberg Baden-Württemberg

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License: Creative Commons Namensnennung-keine Bearbeitung-Nichtkommerziell 4.0

Language: Deutsch

Organisations

• Bundesministerium für Forschung, Technologie und Raumfahrt (Finanzielle Förderung)
• Fraunhofer-Institut für Physikalische Messtechnik (Mitwirkung)
• Umweltbundesamt (Bereitstellung)
• Universität Tübingen, Institut für Physikalische und Theoretische Chemie, Abteilung Analytische Chemie (Projektverantwortung)

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