Description: Das Projekt "Teilvorhaben: Drucksensor-Integration in einem 0,18Mikro m Silicon-on-Insulator Prozess (DRUSE)^KMU-Innovativ - Modulares, hochintegriertes Mikrosystem für intelligente, emissionsreduzierende Filtereinheiten - InFil, Teilvorhaben: Aufbau- und Verbindungstechnik für ein hochsensitives elektronisches Filterüberwachungs-Microsystem" wird/wurde gefördert durch: Bundesministerium für Forschung, Technologie und Raumfahrt. Es wird/wurde ausgeführt durch: Turck Duotec GmbH, Geschäftsbereich Beierfeld.1. Vorhabenziel: In diesem Teilprojekt steht die Untersuchung einer Modullösung zur integrierten Filterüberwachung im Vordergrund. Diese Modullösung basiert auf der Nutzung der 0,18 Mikro m-CMOS-Foundry-Technologie in Verbindung mit einem neuen MEMS-Baustein, der hochsensibel Feinstdrücke erfassen soll. Der verringerte Platzbedarf gegenüber herkömmlichen Technologien bei der Integration von Sensoren und Aktoren bietet besonders für komplexere analoge und digitale Schaltungen potenziell gute Voraussetzungen für kleinere und damit kostengünstigere Schaltkreis-Designs. Das Modul zur Filterüberwachung beinhaltet neben diesem MEMS-Baustein die ergänzende diskrete Beschaltung sowie die RFID-Komponente. Das Ziel des Teilprojektes besteht vor allem in der Erfüllung folgender Ansprüche im Gegensatz zu am Markt verfügbaren Gehäuselösungen: - Systemlösung mit kostengünstiger Struktur - Baustein-Integration in verschiedene Filtersysteme und weitere Applikationen - robuster, montagefreundlicher und wartungsfreier Einsatz 2. Arbeitsplanung: Es ist eine Lösung für ein kostengünstiges Package zu entwickeln, welches die Funktionalität des hochsensiblen Sensorelements unterstützt und an verschiedene Filtersysteme und Filtersystemumgebungen angepasst werden kann. Problemstellung ist dabei die neue, empfindliche 180nm Technologie in Verbindung mit einer MEMS-Struktur. Dabei sollen die Möglichkeiten einer Systemerweiterung wie u.a. die Bereiche Taupunkt- und Temperatursensorik sowie chemische Sensoren damit realisiert werden können. Neben den technischen Parametern sind dabei auch Formfaktoren und Montageoptionen Teil der Forschungsaufgaben. Zusätzlich dazu wird genau geprüft und spezifiziert, welche Randbedingungen für das Sensorsystem relevant sind. Dabei gilt es eindeutig zu bestimmen, welche Vorschriften beispielsweise hinsichtlich Normung (Richtlinienkonformität) und Umweltmanagement (Auflagen, Recycling, Entsorgung, etc.) für das Projekt von Bedeutung sind.
SupportProgram
Origins: /Bund/UBA/UFORDAT
Tags: Recycling ? Überwachungs- und Kontrollinstrumente ? Metalloxid ? Sensor ? Chemische Analyse ? Filter ? Regeltechnik ? Temperaturmessung ? Umweltmanagement ? Anlagenüberwachung ? Emissionsminderung ? Mikroelektronik ? Modul ? Monitoring ? Produktionstechnik ? Technische Normung ? Verfahrenstechnik ? Sensorische Bestimmung ? Bauelement ? Halbleiter ? Raumfahrt ? Standardisierung ? Technischer Fortschritt ? Umweltverträglichkeit ? Taupunkt ?
Region: Sachsen
Bounding boxes: 10.40664° .. 10.40664° x 49.29433° .. 49.29433°
License: cc-by-nc-nd/4.0
Language: Deutsch
Time ranges: 2014-09-01 - 2017-08-31
Webseite zum Förderprojekt
https://www.tib.eu/de/filter/?repno=16ES0285 (Webseite)Accessed 1 times.