Industrielle TOPCon Fertigungstechnologie für die Re-Etablierung der Europäischen PV-Produktion, Teilvorhaben: Diffusions- und PECVD-Prozesse

Description: Im Projekt Re-PV schließen sich führende Anlagenhersteller aus Deutschland und das Fraunhofer ISE zusammen, um industrielle Fertigungstechnologien für Solarzellen mit Tunneloxid-passivierenden Kontakten (Tunnel Oxide Passivating Contact, TOPCon) bereitzustellen und die Zellstruktur weiterzuentwickeln. Ziel ist es, die TOPCon Technologie für die Re-Etablierung der PV-Produktion im europäischen Raum mit der benötigten technologischen Reife verfügbar zu machen und die Wettbewerbsfähigkeit der deutschen Anlagenbauer zu stärken, so dass diese am erwarteten starken Aufbau von auf TOPCon basierenden Produktionskapazitäten partizipieren können. In diesem Teilvorhaben sollen die Basisprozesse für die Diffusion und die PECVD-Beschichtung von Solarzellen auf großen Waferformaten (M10 oder G12) bereitgestellt werden. Bei der Diffusion soll dabei die etablierte Niederdruck-Technologie der Photovoltaikbranche mit der etablierten und weniger giftigen BCl3-Dotiertstofftechologie aus der Halbleiterbranche zusammengebracht werden. Bei der PECVD-Beschichtung sollen die Vorteile aus Niederfrequenz- und Hochfrequenztechnologie zusammengeführt werden und auf eine möglichst ungiftige Gasversorgung mit Dotierstoffen umgestellt wer-den. Ziel ist eine möglichst effiziente, umweltfreundliche und für große Waferformate geeignete Beschichtungstechnologie.

SupportProgram

Tags: Gasversorgung ? Solarzelle ? Deutschland ? Solarindustrie ? Produktionstechnik ? Wettbewerbsfähigkeit ? Zellstruktur ?

Region: Baden-Württemberg

Bounding boxes: 9° .. 9° x 48.5° .. 48.5°

License: Creative Commons Namensnennung-keine Bearbeitung-Nichtkommerziell 4.0

Language: Deutsch

Organisations

• Bundesministerium für Wirtschaft und Energie (Finanzielle Förderung)
• Umweltbundesamt (Bereitstellung)
• centrotherm international AG (Projektverantwortung)

Time ranges: 2025-04-01 - 2028-03-31

Alternatives

• Language: Englisch/English
  Title: Sub-project: Diffusion and PECVD processes
  Description: In the Re-PV project, leading equipment manufacturers from Germany and Fraunhofer ISE are joining forces to provide industrial manufacturing technologies for solar cells with tunnel oxide passivating contacts (TOPCon) and to further develop the cell structure. The aim is to make the TOPCon technology available for the re-establishment of PV production in the European region with the required technological maturity and to strengthen the competitiveness of German plant manufacturers so that they can participate in the expected strong build-up of TOPCon-based production capacities. In this subproject, the basic processes for diffusion and PECVD coating of solar cells on large wafer formats (M10 or G12) are to be provided. For diffusion, the established low-pressure technology from the photovoltaic industry will be combined with the established and less toxic BCl3 dopant technology from the semiconductor industry. In PECVD coating, the advantages from low-frequency and high-frequency technology are to be combined and converted to the most non-toxic gas supply possible with dopants. The aim is to develop a coating technology that is as efficient as possible, environmentally friendly and suitable for large wafer formats. https://ufordat.uba.de/UFORDAT/pages/PublicRedirect.aspx?TYP=PR&DSNR=1140090

Status

Aktiv

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