Skalierbare Ätz-Anlage für umweltfreundliche Produktion in der Halbleiterindustrie, Skalierbare Ätz-Anlage für umweltfreundliche Produktion in der Halbleiterindustrie - GreenPro

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Tags: Kohlenwasserstoff ? Sensor ? Silizium ? Hardware ? Schwefelhexafluorid ? Gasaustausch ? Verfahrenstechnik ? Europa ? Nachhaltige Produktion ? F-Gase ? Sensorische Bestimmung ? Digitaler Zwilling ?

Region: Bayern Baden-Württemberg Berlin Berlin Bayern Baden-Württemberg

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License: Creative Commons Namensnennung-keine Bearbeitung-Nichtkommerziell 4.0

Language: Deutsch

Organisations

• Bundesministerium für Forschung, Technologie und Raumfahrt (Finanzielle Förderung)
• Fraunhofer-Institut für Elektronische Mikrosysteme und Festkörper-Technologien (Projektverantwortung)
• HQ-Dielectrics GmbH (Projektverantwortung)
• Plasmetrex GmbH (Projektverantwortung)
• Umweltbundesamt (Bereitstellung)

Last harvest: 15.10.2026 00:38

Time ranges: 2025-01-01 - 2028-06-30

Alternatives

• Source: ufordat-uba
  Title: Skalierbare Ätz-Anlage für umweltfreundliche Produktion in der Halbleiterindustrie, Skalierbare Ätz-Anlage für umweltfreundliche Produktion in der Halbleiterindustrie - GreenPro
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Aktiv

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