Description: Das Projekt "Reaktionskinetik von Precursoren fuer die Materialsynthese" wird vom Umweltbundesamt gefördert und von Universität Duisburg, Fachbereich 7 Maschinenbau, Institut für Verbrennung und Gasdynamik durchgeführt. Materialabscheidungen aus der Gasphase (Chemical Vapor Deposition B CVD) sind weitverbreitete Verfahren in der Halbleiterfertigung und fuer die Herstellung neuer keramischer Materialien. Es ist moeglich, hochreine, duenne Schichten oder kleinste keramische Partikel mit homogener Groessenverteilung herzustellen. Viele der bekannten Silizium- oder Metalloxide, -karbide und -nitride werden durch solche Gasphasenprozesse erzeugt. Trotz des grossen Anwendungsgebietes fehlen meist detaillierte Kenntnisse der ablaufenden chemischen Reaktionen, so dass Verfahrensoptimierungen oftmals nur empirisch moeglich sind. Ziel des von der Alexander von Humboldt-Stiftung gefoerderten Projektes ist die Untersuchung einzelner Reaktionsschritte wichtiger Vorlaeufermolekuele (Precursoren) im Hinblick auf die Materialsynthese. Als Versuchsanlage dient ein UHV-Stosswellenrohr in Kombination mit der sensitiven Atom-Resonanz-Absorptions-Spektroskopie, einem Photolyselaser und einem Ring-Dye-Laser-Absorptionspektrometer. Die Einstellmoeglichkeit definierter Reaktionsbedingungen in einem Stosswellenrohr, die Reinheit der Anlage und die hohe Empfindlichkeit der optischen Messeinrichtung erlauben die Untersuchung elementarer Reaktionsschritte. Als Precursor wird Zinntetrachlorid (SnCl4) untersucht ,dass u.a. zur Herstellung von Halbleiterschichten aus SnO2 eingesetzt wird. In Stosswellenexperimenten wird der thermische Zerfall von SnCl4 untersucht, wobei die ersten Zerfallsschritte durch Messung freier Cl-Atome und die folgenden Schritte durch Messung von Sn-Atomen untersucht werden. Weiterhin sind bimolekulare Reaktionsschritte zur Oxidbildung von Interesse. Ein weiterer wichtiger Precursor ist TiCl4, dass zur Herstellung von keramischen TiN-Pulvern verwendet wird. Mithilfe von Ring-Dye-Laserabsorptionsmessungen sollen Reaktionen von TiN-Molekuelen untersucht werden, die fuer die Partikelbildung entscheidend sind.
Types:
SupportProgram
Origin: /Bund/UBA/UFORDAT
Tags: Keramik ? Duisburg ? Zinnverbindung ? Brüden ? Messeinrichtung ? Metallcarbid ? Metalloxid ? Materialprüfung ? Photolyse ? Spektralanalyse ? Verfahrensoptimierung ? Gasförmiger Stoff ? Vorläufersubstanz ? Chemikalien ? Maschinenbau ? Produktionstechnik ? Synthese ? Deposition ? Thermisches Verfahren ? Chemische Reaktion ? Halbleiter ? Partikel ? Reaktionskinetik ? Versuchsanlage ? Laseranwendung ? Siliziumoxid ?
Region: Nordrhein-Westfalen
Bounding box: 6.76339° .. 6.76339° x 51.21895° .. 51.21895°
License: cc-by-nc-nd/4.0
Language: Deutsch
Time ranges: 1998-03-01 - 2000-02-28
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