Description: Das Projekt "Teilvorhaben 4: Erprobung und Qualifizierung der Fluor-Gasgemische und benötigter Hardware, Transfer in eine industrielle Pilotlinie" wird vom Umweltbundesamt gefördert und von Fraunhofer-Einrichtung für Mikrosysteme und Festkörper-Technologien durchgeführt. Ziel des Projekts ist die Erprobung, die Qualifizierung und die industrielle Anwendung neuer, auf einer F2/Ar/N2 Mischung basierten Reinigungsprozesse für Chemical Vapour Deposition (CVD) Anlagen in der Halbleiter-Fertigung. Mit diesem Fluor-Gasgemisch (hoher N2 Anteil) werden das bisher in großen Mengen verwendete NF3 und andere Treibhausgase aus der Gruppe der perfluorierten Kohlenwasserstoffe (PFC), wie z.B. C3F8, C2F6 und CF4 ersetzt (Drop-In Replacement). Die technologisch unvermeidbaren Restemissionen der Prozessgase auch im unteren ppm-Bereich werden durch den Einsatz von Fluor-Gasgemischen bei der plasmaunterstützten Reinigung von CVD Prozesskammern vermieden. Gerade bei NF3 ist die klimatische Auswirkung auch geringer Emissionen wegen des hohen Global Warming Potential (GWP) Faktors versus CO2 von 17200 besonders hoch. Der GWP Faktor einer F2/Ar/N2 Mischung ist 1. Angestrebtes Ergebnis von ecoFluor ist eine Senkung des Ressourcenverbrauchs und der umweltschädlichen Restemissionen bei gleichzeitiger Erhöhung der Kosteneffizienz. Das Fraunhofer EMFT optimiert zusammen mit Solvay die F2/Ar/N2 -Gasmischungen und transferiert über den Projektzeitraum die entsprechenden F2-Reinigungs-Prozessrezepte zu Texas Instruments (TI). Darüber hinaus unterstützt das Fraunhofer EMFT TI beim Einfahren der F2/Ar/N2 -Gemische als Reinigungsgas auf den CVD Pilot-Anlagen bei TI in Freising. Zeitgleich wird im Rahmen des Projektes am Fraunhofer EMFT eine kostengünstige Remote Plasmaquelle (Muegge GmbH) für den Einsatz an in Deutschland und Europa bestehenden CVD-Anlagen getestet. In Phase 1 wird das neue umweltfreundliche Verfahren auf verschiedenen Maschinentypen optimiert und validiert, welche anschließend in Phase 2 im Produktionsumfeld betrieben werden. Die industrielle Einführung dieser Prozesse, um in Phase 2 TRL 8 zu erreichen, ist aufwendig und anspruchsvoll, da für eine gleichbleibend hohe Ausbeute an Bauelementen sämtliche Fehlerquellen ausgeschlossen werden müssen.
Types:
SupportProgram
Origin: /Bund/UBA/UFORDAT
Tags: Plasmatechnik ? Argon ? Fluor ? Stickstoffgehalt ? Texas ? Brüden ? Stickstoff ? Oktafluorpropan ? Tetrafluormethan ? Treibhausgasemission ? Chemische Zusammensetzung ? Gasgemisch ? Hardware ? Verfahrenskombination ? Verfahrensoptimierung ? Perfluorierte Kohlenwasserstoffe ? Stickstofftrifluorid ? Kosteneffizienz ? Chemikalien ? Emissionsminderung ? Ersatzstoff ? Produktionstechnik ? Stoffgemisch ? Wirkungsgrad ? Deposition ? Reinigungsverfahren ? Treibhauspotenzial ? Europa ? Materialeffizienz ? Ressourcenverbrauch ? F-Gase ? Umweltverträglichkeit ? Klimawirkung ? Pilotprojekt ? Effizienzsteigerung ? Umweltfreundliche Technologie ? Halbleiter ? Treibhausgas ? Industrielles Verfahren ? Bauelement ? Versuchsanlage ? Materialeinsparung ? Chemical Vapour Deposition-Anlagen ?
Region: Bayern
Bounding box: 12.53381° .. 12.53381° x 47.795° .. 47.795°
License: cc-by-nc-nd/4.0
Language: Deutsch
Time ranges: 2016-01-01 - 2018-12-31
Webseite zum Förderprojekt
http://www.r-plus-impuls.de/r2-de/verbundprojekte/projekte/ecofluor.php (Webseite)Webseite zum Förderprojekt
https://www.tib.eu/de/filter/?repno=033R151D (Webseite)Accessed 1 times.