Description: Das Projekt "Erarbeitung der physikalischen Grundlagen für die Vakuumbeschichtung von Absorberplatten mit variabler Geometrie" wird vom Umweltbundesamt gefördert und von Tinox Gesellschaft für Energieforschung und Entwicklung durchgeführt. Zielsetzung und Anlass des Vorhabens: Die physikalischen Grundlagen werden erarbeitet, die die Voraussetzung sind für die Durchführung eines größeren Entwicklungsprojektes, welches zum Ziel hat, hochselektive PVD-Beschichtungen auf vorgefertigte Absorberplatten variabler Geometrie aufzubringen. In dem aktuellen Projekt soll erstens die simultane Abscheidung der bisher in zwei sequentiellen Arbeitsschritten aufgebrachten Absorberschicht entwickelt werden. Zweitens soll die Ausfallrate der Elektronenstrahlverdampfer, einer der zentralen Komponenten des Prozesses, verringert werden. Beide Teilziele stellen für sich bereits eine Erhöhung der Effizienz in energetischer Hinsicht und im Materialaufwand dar. Darstellung der Arbeitsschritte und der angewandten Methoden: Die patentierte Beschichtungstechnik der Firma TiNOX beruht auf einem Rollcoatingverfahren in dem die Absorberschicht bestehend aus TiNxOy und SiO2 in zwei aufeinander folgenden Prozess-Schritten abgeschieden wird. Um diese Arbeitsschritte simultan durchführen zu können, müssen die Prozessgeschwindigkeiten einander angeglichen werden. Da es sich bei dem ersten Teilprozess (TiNXOy) um eine reaktive Deposition handelt, muss der Anteil der Prozessgase für die veränderte Prozessgeschwindigkeit neu ermittelt werden. Dabei gilt es, auch den vom SiO2 bei der Verdampfung freigesetzten Sauerstoff zu berücksichtigen. Ferner muss zur Erhaltung der Homogenität der Schicht die transversale Verteilung der Reaktionsgase neu optimiert werden. Die gegenseitige Durchmischung der beiden simultan aufgedampften Schichten wird vermieden durch eine Neukonfigurierung des Verdampferraumes. Die resultierenden Schichteigenschaften werden mittels optischer Spektrometermessungen sowie atomar aufgelöster Elementanalysen gemessen und somit experimentell die optimalen Prozessparameter ermittelt. Die Ausfallursachen der Elektronenstrahlverdampfer wird ermittelt durch Experimente, in denen die Bedienparameter variiert werden wie z.B. Anordnung, Füllstand, Heizleistung, Kühlverhalten, Aufbau, Steuerung, Verunreinigungsschutz, etc. Bei erfolgreicher Ursachenanalyse können geeignete Maßnahmen ergriffen werden, um die Ausfallhäufigkeit zu reduzieren. Fazit: Durch die durch die Deutsche Bundesstiftung Umwelt geförderten Entwicklungsarbeiten und Umbauten an der bestehenden Produktionsanlage konnte eine signifikante Erhöhung der Prozessstabilität und eine Erhöhung der Kundenzufriedenheit hinsichtlich des farblich homogenen Erscheinungsbildes der Produktes erreicht werden. Es konnte gezeigt werden, dass eine automatische Simultanbeschichtung von Blechen mit der hochselektiven TiNOX-Schicht möglich und produktionstauglich ist.
SupportProgram
Origin: /Bund/UBA/UFORDAT
Tags: Blech ? Siliziumdioxid ? Titan ? Solarthermieanlage ? Sauerstoff ? Bundesrepublik Deutschland ? Absorption ? Chemische Analyse ? Physik ? Regeltechnik ? Spektralanalyse ? Vakuumtechnik ? Verfahrensparameter ? Verfahrensoptimierung ? Beschichtung ? Abscheidung ? Kausalanalyse ? Trennverfahren ? Verfahrenstechnik ? Industrieanlage ? Materialeffizienz ? Energieeffizienz ? Messung ? Stofftrennung ? Effizienzsteigerung ? Grundlagenforschung ? Optimieren der Fahrweise ? Simultanabscheidung ? Verdampfung ? automatisieurung ?
Region: Bayern
Bounding boxes: 12.53381° .. 12.53381° x 47.795° .. 47.795°
License: cc-by-nc-nd/4.0
Language: Deutsch
Time ranges: 2002-10-15 - 2005-10-12
Accessed 1 times.