Technologien für Energieeffiziente Computing-Plattformen - ENERGIE, Teilvorhaben: High-End Fotomasken für energieeffiziente Nanoelektronik (CoolMask)

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Tags: Elektronik ? Verfahrensparameter ? Qualitätsmanagement ? Energieeinsparung ? Produktionstechnik ? Energieeffizienz ? Pilotprojekt ? Wettbewerbsfähigkeit ? Nanotechnologie ? Highend-Photomaske ? Kantenrauhigkeit ? Line-Edge-Roughness ?

Region: Sachsen Sachsen

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License: Creative Commons Namensnennung-keine Bearbeitung-Nichtkommerziell 4.0

Language: Deutsch

Organisations

• Advanced Mask Technology Center GmbH & Co. KG (Projektverantwortung)
• Bundesministerium für Forschung, Technologie und Raumfahrt (Finanzielle Förderung)
• Qimonda Dresden GmbH & Co.OHG (Mitwirkung)
• Umweltbundesamt (Bereitstellung)

Last harvest: 12.10.2026 00:12

Time ranges: 2009-02-01 - 2012-01-31

Resources

• Webseite zum Förderprojekt

  https://www.tib.eu/de/filter?repno=13N10182 (Webseite) ✓

Status

Aktiv

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