Description: Das Projekt "technische Realisierung an Plasma-CVD-Prozessen" wird vom Umweltbundesamt gefördert und von Centrotherm durchgeführt. In plasmagestuetzten technologischen Prozessen werden in breitem Umfang fluorhaltige Verbindungen wie NF3, WF6, XeF2, CF4,CHF3, C2F4, C2F6 u.a. in Mischung mit weiteren Gasen eingesetzt. Aus den plasmachemischen Reaktionen resultieren umweltbelastende Fluorverbindungen und in der Wechselwirkung mit Fotolacken u.a. organischen Materialien entstehen bei diesen Prozessen Fluorkohlenwasserstoffe, die z. T. von erheblicher Toxizitaet sind. Deren Vernichtung und damit Reduzierung der Emission in die Atmosphaere bereitet aufgrund der chemischen Stabilitaet eines Teiles dieser Verbindungen Schwierigkeiten und wurde international bisher ungenuegend untersucht. Aufgabe dieses Projektes ist es, Technologien zur effektiven Beseitigung toxischer Fluorverbindungen aus den Abgasen plasmagestuetzter Prozesse zu entwickeln.
Types:
SupportProgram
Origin: /Bund/UBA/UFORDAT
Tags: Plasmatechnik ? Fluorverbindung ? Lösungsmittel ? Tetrafluormethan ? Ätzender Stoff ? Fluorkohlenwasserstoffe ? Industrieabgas ? Organisches Material ? Umweltbelastung ? Stickstofftrifluorid ? Abgasreinigung ? Chemikalien ? Emissionsminderung ? Mikroelektronik ? Toxizität ? Verfahrenstechnik ? Chemische Reaktion ? Schadstoffminderung ? Schadstoff ?
Region: Sachsen
Bounding box: 10.40664° .. 10.40664° x 49.29433° .. 49.29433°
License: cc-by-nc-nd/4.0
Language: Deutsch
Time ranges: 1991-12-01 - 1995-02-28
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