Description: Das Projekt "Teilvorhaben: Entwicklung amorpher und mikrokristalliner Halbleiter mittels VHF PECVD und Vergleich mit Hot-Wire CVD" wird vom Umweltbundesamt gefördert und von Technische Universität Dresden, Institut für Halbleiter- und Mikrosystemtechnik durchgeführt. In diesem Verbundprojekt sollen neuartige Elektrodenmaterialien entwickelt werden, die sich durch drei wesentliche Materialeigenschaften auszeichnen: Hohe Passivierwirkung, sehr gute optische Eigenschaften und elektrische Leitfähigkeit. Es werden Elektroden entwickelt, die auf dielektrischen Schichten basieren und mit der PERC Anlagentechnik und Prozessführung kompatibel sind. Weiterhin werden Elektroden mit verbesserter Transparenz und besserer passivierender Wirkung für a Si:H/c Si Heterokontaktsolarzellen angestrebt. Für TUD: Ziel des Teilvorhabens ist die Entwicklung amorpher und mikrokristalliner Halbleiter mittels VHF PECVD und Vergleich mit Hot-Wire CVD. Es werden drei wissenschaftliche Ansätze verfolgt. Zum einen sollen heutige dielektrische Passivierungsschichten durch Dotierung und Einführung von Laminatstrukturen weiterentwickelt werden. Im zweite Ansatz werden amorphe und mikrokristallinen Halbleitern mit hohen Bandlücken (a SiOx, a SiC und Mikro c SiOx) entwickelt. Um die Passivierungswirkung dieser Materialien weiter zu erhöhen, werden im dritten Ansatz neue Abscheideverfahren mit extrem geringer Grenzflächenschädigung für Heterokontakt-Solarzellen entwickelt. Für die drei Ansätze werden zunächst die neue Prozessanlagentechnik und die entsprechenden Prozesse entwickelt. Danach findet die Materialentwicklung und abschließende die Demonstration und Verifikation in funktionierenden Solarzellen statt.
Types:
SupportProgram
Origin: /Bund/UBA/UFORDAT
Tags: Carbid ? Plasmatechnik ? Dresden ? Siliziumdioxid ? Oxid ? Anorganische Siliziumverbindung ? Solarzelle ? Material ? Struktur-Wirkung-Beziehung ? Qualitätsmanagement ? Abscheidung ? Leitfähigkeit ? Produktionstechnik ? Verfahrenstechnik ? Vergleichsanalyse ? Werkstoffkunde ? Oberflächenbehandlung ? Halbleiter ? Kompatibilität ? Neuartige Materialien ? Lichtdurchlässigkeit ? Mikrotechnik ? Anlagentechnik ? Chemische Gasphasenabscheidung ? Elektrode ? Heterokontaktsolarzelle ? Siliziumcarbid ?
Region: Sachsen
Bounding box: 10.40664° .. 10.40664° x 49.29433° .. 49.29433°
License: cc-by-nc-nd/4.0
Language: Deutsch
Time ranges: 2016-09-01 - 2019-08-31
Webseite zum Förderprojekt
https://www.tib.eu/de/filter/?repno=03SF0538B (Webseite)Accessed 1 times.