Description: Das Projekt "Trägersubstrate für Katalysatorschichten" wird vom Umweltbundesamt gefördert und von Institut für Mikroelektronik Stuttgart durchgeführt. Die breite Markteinführung von Brennstoffzellen wird durch den Einsatz teurer Platinkatalysatoren gebremst. Dies liegt und a. daran, dass der Fokus der Entwicklung auf sauren Brennstoffzellen liegt, die auf Edelmetallkatalysatoren angewiesen sind. Unser Ziel am IMS ist die Entwicklung eines fehlerfreien Trägersubstrates auf der Basis von 150mm Silizium-Wafern mit integrierten, ultradünnen und strukturierten Siliziumnitrid-basierten Membranen. In die Mikrokanäle dieser Trägersubstrate werden vom ZBT verschiedene Elektrolytmaterialien und von der RUB unterschiedliche nichtmetallische Katalysatorschichten eingebracht. Der IMS Chips Arbeitsplan gliedert sich in die 4 Phasen: Design, Si3N4-Lochmasken, Si-Lochmasken mit Si3N4-Beschichtung und Variantenwahl mit Optimierung. In der Designphase werden die Spezifikationen (Membrandicken, Lochpattern, Lochdimensionen, Anordnung der Membranen auf dem Si Wafer) für die ersten Designs mit den beteiligten Partnern abgestimmt. In der zweiten Phase wird mit der Entwicklung und Fertigung von Si3N4 basierten Lochmasken begonnen. Sowohl PECVD Si3N4 Membranschichten (d=0,5Mikro m-2Mikro m) als auch CVD Si3N4 Membranschichten (d=0,2Mikro m) und Kombinationsschichten CVD/PECVD Si3N4 sollen untersucht werden. Die entsprechenden Strukturierungsprozesse (Lithografie und Plasmaätzung der Membranschicht), nasschemische Membranätzprozesse auf Wafer-Level, Stressmessungen und Stresseinstellung sollen ausgeführt und entwickelt werden. Ziel ist eine 100% Ausbeute an intakten Einzelmembranen auf dem 150mm Si Wafer-Trägersubstrat. In einer dritten Phase sollen entsprechend zu Phase 2, Si basierte Lochmasken mit 10Mikro m-20Mikro m Si Membrandicke strukturiert und final mit einer CVD Si3N4 Schutzschicht entwickelt und untersucht werden. In Phase 4 wird dann mit den Projektpartnern gemeinsam die beste Variante ausgewählt und im weiteren Projektablauf hinsichtlich Ausbeute, mechanisch/chemische Stabilität optimiert.
Types:
SupportProgram
Origin: /Bund/UBA/UFORDAT
Tags: Stuttgart ? Siliziumnitrid ? Substrat ? Werkstoff ? Brennstoffzelle ? Katalysator ? Silizium ? Edelmetall ? Marketing ? Materialprüfung ? Beschichtung ? Energietechnik ? Mikroelektronik ? Produktionskosten ? Produktionstechnik ? Verfahrenstechnik ? Werkstoffkunde ? Polymer-Elektrolyt-Membran ? Membran ? Wirtschaftliche Aspekte ?
Region: Baden-Württemberg
Bounding box: 9° .. 9° x 48.5° .. 48.5°
License: cc-by-nc-nd/4.0
Language: Deutsch
Time ranges: 2015-12-01 - 2018-11-30
Webseite zum Förderprojekt
https://www.tib.eu/de/filter/?repno=03SF0497D (Webseite)Accessed 1 times.