Description: Das Projekt "In-situ Optimierung und Qualitaetskontrolle von Halbleitern zur Anwendung in Solarzellen" wird vom Umweltbundesamt gefördert und von Hahn-Meitner-Institut Berlin GmbH, Bereich Physikalische Chemie durchgeführt. Es sollen Moeglichkeiten zur Optimierung und Qualitaetskontrolle von Halbleitern und Halbleiterbauelementen fuer photovoltaische Anwendungen untersucht werden. Als Modellsysteme fuer dieses Vorhaben sind die Plasma-Deposition von amorphen Siliziumschichten sowie verschiedene Arbeitsschritte bei der Herstellung von Bauelementen aus ein- und polykristallinem Silizium vorgesehen. Zur Charakterisierung wird die in der Arbeitsgruppe entwickelte Mikrowellenphotoleitfaehigkeitsmethode eingesetzt. Fuer dieses kontaktlose, in-situ anwendbare Messverfahren soll erarbeitet werden, wie anhand einer in-situ gewonnenen Messgroesse eine gezielte Optimierung und Qualitaetskontrolle zu erreichen ist. Mit einer Reihe von Messmethoden soll dazu zunaechst die Korrelation der gewonnenen Messgroesse mit der Qualitaet des spaeteren Halbleiter-Bauelements untersucht werden. Darauf aufbauend wird eine Verfahrensstrategie entwickelt, die es ermoeglicht, die Messsignale in Realzeit auszuwerten und eine Aenderung derjenigen Prozessparameter einzuleiten, die eine Qualitaetsverbesserung herbeifuehren. Zur Realisierung dieser Aufgabe ist es notwendig, eine rechnerkontrollierbare Anlagen- und Prozesssteuerung zu entwickeln.
Types:
SupportProgram
Origin: /Bund/UBA/UFORDAT
Tags: Berlin ? Physikalische Chemie ? Silizium ? Solarzelle ? Korrelationsanalyse ? Messtechnik ? Verfahrensparameter ? Energieumwandlung ? Messverfahren ? Prüfverfahren ? Verfahrenstechnik ? Grenzschicht ? Halbleiter ? in situ ? Reaktionskinetik ? Ladungstraeger ? Mikrowellenleitfaehigkeit ?
Region: Berlin
Bounding box: 10.44987° .. 10.44987° x 54.03573° .. 54.03573°
License: cc-by-nc-nd/4.0
Language: Deutsch
Time ranges: 1989-07-01 - 1994-12-31
Accessed 1 times.