Herstellung von SiOx-Barriereschichten aus Polysilazanen bei Normaldruck und niedriger Temperatur mittels VUV-Strahlung, Teilvorhaben 2

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Tags: Substrat ? Photochemie ? Silizium ? UV-Strahlung ? Abwärme ? Radium ? Anorganische Verbindung ? Marktentwicklung ? Produktionstechnik ? Stand der Technik ? Verfahrenstechnik ? Wirkungsgrad ? Globale Aspekte ? Grundlagenforschung ? Katalyse ? Strahlungsquelle ? Temperaturbeständigkeit ?

Region: Nordrhein-Westfalen Nordrhein-Westfalen

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License: Creative Commons Namensnennung-keine Bearbeitung-Nichtkommerziell 4.0

Language: Deutsch

Organisations

• Bundesministerium für Forschung, Technologie und Raumfahrt (Finanzielle Förderung)
• Radium Lampenwerk GmbH (Projektverantwortung)
• Umweltbundesamt (Bereitstellung)

Last harvest: 29.09.2026 09:29

Time ranges: 2006-12-01 - 2009-11-30

Resources

• Webseite zum Förderprojekt

  https://www.tib.eu/de/filter?repno=01RI06008 (Webseite) ✓

Status

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