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Untersuchung und Vermeidung von gasgetragener Kontamination in Fertigungslinien fuer ASIC's

Description: Das Projekt "Untersuchung und Vermeidung von gasgetragener Kontamination in Fertigungslinien fuer ASIC's" wird vom Umweltbundesamt gefördert und von Universität Gesamthochschule Duisburg, Institut für Umwelttechnologie und Umweltanalytik durchgeführt. Die Kontamination von Silizium-Wafern durch luftgetragene Partikel und Schadstoffe wird untersucht unter besonderer Beruecksichtigung steigender Integrationsdichten fuer Anwender-spezifische integrierte Schaltungen (ASIC). Innerhalb einer typischen Fertigungslinie werden die Quellen der Kontamination bestimmt. Die Mechanismen fuer den Transport der Partikel und deren Abscheidung auf den Wafern werden aufgezeigt. Ziel ist die Entwicklung von Strategien zur Vermeidung der Kontamination von Wafern unter Beruecksichtigung der dominierenden Einflussparameter zum Partikeltransport, bestimmt aus experimentellen und theoretischen Untersuchungen.

Types:

SupportProgram

Origin: /Bund/UBA/UFORDAT

Tags: Duisburg ? Werkstoff ? Schadstoffwirkung ? Materialschaden ? Luftbewegung ? Abscheidung ? Partikelförmige Luftverunreinigung ? Schutzmaßnahme ? Umwelttechnik ? Wirkungsanalyse ? Umweltanalytik ? Luftschadstoff ? Partikel ? Stofftransport ? Schadstoff ? Verunreinigung ? ASIC ? Produktionsausfall ? Wafer ?

Region: Nordrhein-Westfalen

Bounding box: 6.76339° .. 6.76339° x 51.21895° .. 51.21895°

License: cc-by-nc-nd/4.0

Language: Deutsch

Organisations

Time ranges: 1990-01-01 - 1992-12-31

Status

Quality score

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