Description: Das Projekt "Umweltfreundliche Herstellung dotierter Kontaktschichten auf Basis von hydrogeniertem Silizium" wird vom Umweltbundesamt gefördert und von FAP Forschungs- und Applikationslabor Plasmatechnik GmbH Dresden durchgeführt. Das Projekt hat zum Ziel, eine verbesserte Dotierung von amorphem und mikrokristallinen Silizium zu entwickeln. Die elektronischen Eigenschaften von hydrogeniertem amorphem Silizium werden bei der Herstellung in der Gasphase durch Einsatz von Phosphin und Diboran fuer n- bzw. p-leitende Schichten kontrolliert. Unser Ziel ist es, diese hochtoxischen Gase durch alternative Ausgangsstoffe auf der Basis von Kohlenwasserstoffverbindungen zu ersetzen. Der Schwerpunkt der Arbeit liegt dabei auf der Optimierung des Dotierprozesses im Bereich hoher Leitfaehigkeiten.
Types:
SupportProgram
Origin: /Bund/UBA/UFORDAT
Tags: Plasmatechnik ? Dresden ? Phosphin ? Siliziumverbindung ? Alicyclischer Kohlenwasserstoff ? Kohlenwasserstoff ? Silizium ? Luftreinhaltung ? Gasförmiger Stoff ? Ersatzstoff ? Produktionstechnik ? Toxische Substanz ? Umweltfreundliches Produkt ? Verfahrenstechnik ? Schadstoffminderung ? Umweltfreundliche Technologie ? Duennschichttechnik ? Substitutionseffekt ?
Region: Sachsen
Bounding box: 10.40664° .. 10.40664° x 49.29433° .. 49.29433°
License: cc-by-nc-nd/4.0
Language: Deutsch
Time ranges: 1997-05-01 - 1999-09-30
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