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Teilvorhaben 5: Anpassung der PECVD-Prozesstechnik an die Anforderungen einer Direktstrukturierung von DLC-Schichten

Description: Das Projekt "Teilvorhaben 5: Anpassung der PECVD-Prozesstechnik an die Anforderungen einer Direktstrukturierung von DLC-Schichten" wird vom Umweltbundesamt gefördert und von inprotec AG durchgeführt. Das Ziel ist, die notwendigen anlagentechnischen Voraussetzungen zu schaffen, damit eine entsprechende Schichtentwicklung (durchgeführt durch das FhG-IWM) stattfinden kann. Des Weiteren sind die Anlagen so zu gestalten, dass reproduzierbare und unter industriellen Anforderungen fahrbare Prozesse entstehen können. Die Schichten sollen eine wesentliche Verbesserung der Gleit- und Verschleißeigenschaften im Vergleich zum Status quo aufweisen. Nach der Erstellung der entsprechenden Pflichtenhefte, wird die bestehende Labor-Anlage so weit umgerüstet, dass erste Versuche mit den Bauteilen gefahren werden können. Nachfolgend werden mehrere aufskalierbare Versuchsaufbauten für die Laboranlage entwickelt und gefertigt, mit denen die angedachten Konzepte überprüft werden können. Es folgen allfällige Anpassungen und Optimierungen. Die am Ende des Projektes beim FhG-IWM zur Verfügung stehende Anlage zur Herstellung von Fertigungsmustern von beschichteten Prototyp-Bauteilen mit haft- und verschleißfesten-festen/reibungsmindernden a-C:H-Schichten soll als aufskalierbare Basis für die Herstellung von industriell einsetzbaren PECVD-Anlagen dienen.

Types:

SupportProgram

Origin: /Bund/UBA/UFORDAT

Tags: Werkstoff ? Anlagenoptimierung ? Beschichtung ? Produktionstechnik ? Verfahrenstechnik ? Oberflächenbehandlung ? Laborversuch ? Anlagenbau ? in situ ? Diamond-Like-Carbon (DLC) ? Prototyp ? Werkzeug ?

Region: Baden-Württemberg

Bounding box: 9° .. 9° x 48.5° .. 48.5°

License: cc-by-nc-nd/4.0

Language: Deutsch

Organisations

Time ranges: 2005-09-01 - 2009-02-28

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Status

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