Description: Das Projekt "Dynamische Abscheidung von a-Si und TCO-Schichten für Hocheffizienz Si-Solarzellen für hochproduktive Fertigung bei reduzierten Herstellkosten; Teilvorhaben: Optimierung der PECVD Linearquellentechnologie zur dynamischen Abscheidung von a-Si-Schichten für Hocheffizienz Si-Solarzellen" wird vom Umweltbundesamt gefördert und von FAP Forschungs- und Applikationslabor Plasmatechnik GmbH Dresden durchgeführt. Das Teilprojekt der FAP besteht in erster Linie in Untersuchung, Design und Konstruktion eines großflächigen Abscheidesystems für die dynamische Deposition von amorphen Siliziumschichten mit hohen Substrattemperaturen bis 400 Grad Celsius für Hocheffizienz Si-Solarzellen Die Aktivitäten der FAP konzentrieren sich hierzu auf folgende Schwerpunkte: - Konzeptdesign eines kostenoptimierten skalierbaren PECVD Elektrodensystems basierend auf vorhandener PECVD Linearquellentechnologie von FAP zur Evaluierung der dynamischen a-Si Abscheidung bei Fraunhofer ISE mit Substrattemperaturen bis 400 Grad Celsius - Entwicklung eines prozesstauglichen Carriers, der einen Substrattransport mit hoher Geschwindigkeit ermöglicht, die Plasmaausbildung nicht negativ beeinflusst und eine gute (möglichst beidseitige) Beschichtungshomogenität ermöglicht Der Fokus liegt auf der Abscheidung Si-basierter Schichten im (dynamischen) in-line PECVD Verfahren im Frequenzbereich bis zu 60MHz. Hierzu wird eine PECVD Linearquellentechnologie der FAP hinsichtlich ihrer Eignung grundlegend untersucht und für die spezielle Anwendung für Hocheffizienz Si-Solarzellen optimiert. Ziele sind Design und Demonstration eines in-line PECVD Tools für die Produktion von Hocheffizienz Si-Solarzellen mit höherem Durchsatz und entsprechend niedrigeren Kosten im Vergleich zu den bisher üblichen statischen PECVD Prozessen.
Types:
SupportProgram
Origin: /Bund/UBA/UFORDAT
Tags: Plasmatechnik ? Dresden ? Solarzelle ? Abscheider ? Abscheidung ? Bewertung ? Produktionskosten ? Produktionstechnik ? Deposition ? Amorphe Solarzelle ? Spediteur ? Untersuchungsschwerpunkt ? Werkzeug ?
Region: Sachsen
Bounding box: 10.40664° .. 10.40664° x 49.29433° .. 49.29433°
License: cc-by-nc-nd/4.0
Language: Deutsch
Time ranges: 2019-01-01 - 2021-12-31
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