Description: Das Projekt "Duennfilm-Halbleitergassensoren" wird vom Umweltbundesamt gefördert und von Drägerwerk AG durchgeführt. Ziel dieses Vorhabens ist die Entwicklung von Gassensoren hoher Stabilitaet, Sensivitaet und Selektivitaet. Die gasempfindlichen Eigenschaften der Sensoren beruhen auf der Aenderung des elektrischen Widerstandes duenner halbleitender Schichten, die durch katalytisch aktive Stoffe gezielt beeinflusst werden. Es ist geplant, diese Stoffe durch Ionenimplantieren, Kathodenzerstaeuben und Aufdampfen aufzubringen. Durch moderne Analysenmethoden soll das Verstaendnis der Vorgaenge in Halbleitergassensoren vertieft und damit eine definierte Einstellung ihrer Eigenschaften moeglich gemacht werden. Ein weiteres Ziel ist die Entwicklung einer fuer Gassensoren spezifischen Herstellungstechnologie, mit der gute Aussichten fuer die reproduzierbare Fertigung solcher Sensoren bestehen.
Types:
SupportProgram
Origin: /Bund/UBA/UFORDAT
Tags: Gasanalyse ? Immissionsmesstechnik ? Metalloxid ? Sensor ? Gasmessung ? Katalyse ? Analyseverfahren ? Produktionstechnik ? Halbleiter ? Gassensoren ? organische Halbleiter ?
Region: Schleswig-Holstein
Bounding box: 9.75° .. 9.75° x 54.2° .. 54.2°
License: cc-by-nc-nd/4.0
Language: Deutsch
Time ranges: 1985-04-01 - 1988-03-31
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