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Teilvorhaben FAP GmbH: Entwicklung einer Hot-Wire Linienquelle und einer PECVD Abscheidung mit Plasmafrequenzen bis 200 MHz

Description: Das Projekt "Teilvorhaben FAP GmbH: Entwicklung einer Hot-Wire Linienquelle und einer PECVD Abscheidung mit Plasmafrequenzen bis 200 MHz" wird vom Umweltbundesamt gefördert und von FAP Forschungs- und Applikationslabor Plasmatechnik GmbH Dresden durchgeführt. In diesem Verbundprojekt sollen neuartige Elektrodenmaterialien entwickelt werden, die sich durch drei wesentliche Materialeigenschaften auszeichnen: hohe Passivierwirkung, sehr gute optische Eigenschaften und elektrische Leitfähigkeit. Es werden Elektroden entwickelt, die auf dielektrischen Schichten basieren und mit der PERC Anlagentechnik und Prozessführung kompatibel sind. Weiterhin werden Elektroden mit verbesserter Transparenz und besserer passivierender Wirkung für a-Si:H/c-Si Heterokontaktsolarzellen angestrebt. FAP: Ziel des Teilvorhabens ist die Entwicklung einer Hot-Wire Linienquelle und einer PECVD Abscheidung mit Plasmafrequenzen bis 200 MHz für diese Aufgabenstellung. Es werden drei wissenschaftliche Ansätze verfolgt. Zum einen sollen heutige dielektrische Passivierungsschichten durch Dotierung und Einführung von Laminatstrukturen weiterentwickelt werden. Im zweiten Ansatz werden amorphe und mikrokristalline Halbleiter mit hohen Bandlücken (a-SiOx, a-SiC und Mikro c-SiOx) entwickelt. Um die Passivierungswirkung dieser Materialien weiter zu erhöhen, werden im dritten Ansatz neue Abscheideverfahren mit extrem geringer Grenzflächenschädigung für Heterokontakt-Solarzellen entwickelt. Für die drei Ansätze werden zunächst die neue Prozessanlagentechnik und die entsprechenden Prozesse entwickelt. Danach finden die Materialentwicklung und abschließend die Demonstration und Verifikation in funktionierenden Solarzellen statt.

Types:

SupportProgram

Origin: /Bund/UBA/UFORDAT

Tags: Carbid ? Plasmatechnik ? Dresden ? Siliziumdioxid ? Oxid ? Anorganische Siliziumverbindung ? Solarzelle ? Material ? Struktur-Wirkung-Beziehung ? Verfahrensoptimierung ? Qualitätsmanagement ? Abscheidung ? Leitfähigkeit ? Produktionstechnik ? Verfahrenstechnik ? Werkstoffkunde ? Oberflächenbehandlung ? Linienquelle ? Halbleiter ? Kompatibilität ? Neuartige Materialien ? Effizienzsteigerung ? Lichtdurchlässigkeit ? Anlagentechnik ? Chemische Gasphasenabscheidung ? Elektrode ? Heterokontaktsolarzelle ? Siliziumcarbid ?

Region: Sachsen

Bounding box: 10.40664° .. 10.40664° x 49.29433° .. 49.29433°

License: cc-by-nc-nd/4.0

Language: Deutsch

Organisations

Time ranges: 2016-09-01 - 2019-08-31

Status

Quality score

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