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EPI-Inspec - Inspektion von EpiWafern und deren Vorstufen, Teilvorhaben: Messtechnik zur Inspektion von EpiWafern und deren Vorstufen

Description: Das Projekt "EPI-Inspec - Inspektion von EpiWafern und deren Vorstufen, Teilvorhaben: Messtechnik zur Inspektion von EpiWafern und deren Vorstufen" wird/wurde gefördert durch: Bundesministerium für Wirtschaft und Energie. Es wird/wurde ausgeführt durch: Meyer Burger (Germany) GmbH.

Types:
SupportProgram

Origins: /Bund/UBA/UFORDAT

Tags: Messgerät ? Substrat ? Messtechnik ? Schornstein ? Energie ? Technischer Fortschritt ? Maschine ? Verunreinigung ? Hauptziel ?

Region: Sachsen

Bounding boxes: 10.40664° .. 10.40664° x 49.29433° .. 49.29433°

Marker

License: cc-by-nc-nd/4.0

Language: Deutsch

Organisations

Time ranges: 2019-12-01 - 2021-11-30

Status

Quality score

Accessed 1 times.