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Teilvorhaben: Messtechnik zur Inspektion von EpiWafern und deren Vorstufen

Description: Das Projekt "Teilvorhaben: Messtechnik zur Inspektion von EpiWafern und deren Vorstufen" wird vom Umweltbundesamt gefördert und von Meyer Burger (Germany) GmbH durchgeführt. Die Ziele, die Hennecke in diesem Projekt verfolgt, sind sehr stark orientiert an Verbesserungen und Neuentwicklungen der Messmaschine, die in der Folge einen Vorsprung vor den Mitbewerbern am Markt und erhöhte Chancen im Verkauf der Maschinen bedeuten. Insbesondere die Anpassung der bestehenden Messverfahren auf die Wafer und Precursoren der neuen 'kerfless' Technologie können für die Hennecke-Messmaschinen ein Alleinstellungsmerkmal und Verkaufsargument sein. In diesem Sinne verfolgt Hennecke die folgenden Haupt-Ziele: - Erweiterung des Messgeräte-Portfolios auf die speziellen Wafer und Precursoren des EPI-Wafer-Prozesses - Machbarkeit der deutlichen Erhöhung der Auflösung des 'Perpendicular Edge Detection' Messsystems festgestellt. Um diese Ziele zu erreichen sind die folgenden Teilziele nötig: - Erweiterung des Messgeräte-Portfolios auf stark reflektierende Wafer - Oberflächen und Kantenchippings auf den porosifizierten und reorganisierten Saat Wafern messbar. - Oberflächenqualität, Ebenheit, Homogenität und Verunreinigungen auf den porosifizierten und reorganisierten Wafern messbar - Biegung, Kristallstruktur und Mikrorisse des EPI-Substrat Stacks messbar.

Types:

SupportProgram

Origin: /Bund/UBA/UFORDAT

Tags: Messgerät ? Substrat ? Messeinrichtung ? Saatgut ? Messtechnik ? Schornstein ? Messverfahren ? Technischer Fortschritt ? Maschine ? Verunreinigung ? Hauptziel ?

Region: Sachsen

Bounding box: 10.40664° .. 10.40664° x 49.29433° .. 49.29433°

License: cc-by-nc-nd/4.0

Language: Deutsch

Organisations

Time ranges: 2019-12-01 - 2021-11-30

Status

Quality score

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