Description: Das Projekt "Produktionstechnologieforschung fuer die Vorder- und Ruckseiten-IC Produktion" wird vom Umweltbundesamt gefördert und von Siemens AG durchgeführt. Das Projekt fasst Entwicklungstaetigkeiten zusammen, die zu einer wirtschaftlichen Fertigung von CMOS-IC's der 0,7 Mikrometer-Generation erforderlich sind. Die Projektbereiche dieser Taetigkeiten sind: Anlagen und Geraete der Chipherstellung, Maskenherstellung und Automatisierung. Insbesondere bei der Verbesserung der Fertigungsmittel fuer die Chipherstellung wird auf die Verringerung der Schadstoffemissionen aus Prozessgasen und -chemikalien Wert gelegt. Die Minimierung des Medienverbrauchs ist ebenfalls ein Anliegen dieses Projektes.
Types:
SupportProgram
Origin: /Bund/UBA/UFORDAT
Tags: Hardware ? Schadstoffemission ? EU-Länder ? Automatisierung ? Emissionsminderung ? Produktionstechnik ? Verfahrenstechnik ? Wirtschaftlichkeit ? Halbleiter ? Abscheidetechnik ? Chipmontage ? Computertechnik ? IC-Herstellung ? Integrierte-Schaltungen ? Reinraumtechnik ?
Region: Bayern
Bounding box: 12.53381° .. 12.53381° x 47.795° .. 47.795°
License: cc-by-nc-nd/4.0
Language: Deutsch
Time ranges: 1992-01-01 - 1993-12-31
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