Verbundprojekt 2: Bestrahlungsfester GaAlN Photodetektor für den VUV - Spektralbereich - Teilprojekt 3: Entwicklung von Epitaxieprozessen und Prozessierungsschritten für VUV-Photodetektor

Description: Das Projekt "Verbundprojekt 2: Bestrahlungsfester GaAlN Photodetektor für den VUV - Spektralbereich - Teilprojekt 3: Entwicklung von Epitaxieprozessen und Prozessierungsschritten für VUV-Photodetektor" wird vom Umweltbundesamt gefördert und von Ferdinand-Braun-Institut, Leibniz-Institut für Höchstfrequenztechnik im Forschungsverbund Berlin e.V. durchgeführt. Gesamtziel des Verbundvorhabens ist die Entwicklung von UV- und VUV-Photodetektoren auf der Basis von AlGaN. Diese Detektoren sollen eine Photoempfindlichkeit von größer als 0.08 A/W und Dunkelströme kleiner als 10 pA aufweisen. Sie sollen kurzwellige Bestrahlung (172 nm) mit 10 mW/cm2 über 100 h überstehen. Es werden Schichtstrukturen mit hohem Al-Gehalt für VUV-Detektoren entwickelt. Mit diesen Schichten wird ein Prozess für MSM-Photodioden entwickelt und die Prozessentwicklung für Schottky-Kontakt-PD wird mit Teilschrittentwicklungen unterstützt. Die Beschichtung von Bauelementstrukturen zum Schutz vor Degradation wird in die komplette Prozesskette integriert.

SupportProgram

Origin: /Bund/UBA/UFORDAT

Tags: Aluminiumgehalt ? Messgerät ? Berlin ? Sensor ? Messtechnik ? Spektralanalyse ? Bestrahlung ? Beschichtung ? Verfahrenstechnik ? Oberflächenbehandlung ? Abbau ? Bauelement ? UV-Strahlung ? Spektrum ? Wellenlänge ?

Region: Berlin

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License: cc-by-nc-nd/4.0

Language: Deutsch

Organisations

• Bundesministerium für Bildung und Forschung (Bereitsteller*in)
• Ferdinand-Braun-Institut, Leibniz-Institut für Höchstfrequenztechnik im Forschungsverbund Berlin e.V. (Betreiber*in)
• JENOPTIK Polymer Systems GmbH (Mitwirkende)
• Sentech Instruments GmbH (Mitwirkende)
• Technische Universität Berlin, Institut für Festkörperphysik, Arbeitsgruppe Prof. Dr. M. Kneißl (Mitwirkende)
• Umweltbundesamt (Bereitsteller*in)

Time ranges: 2010-07-01 - 2013-06-30

Resources

• Webseite zum Förderprojekt

  https://www.tib.eu/de/filter?repno=03WKBT02C (Webseite)

Status

Aktiv

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