Verbundprojekt 2: Bestrahlungsfester GaAlN Photodetektor für den VUV - Spektralbereich - Teilprojekt 3: Entwicklung von Epitaxieprozessen und Prozessierungsschritten für VUV-Photodetektor

Description: Das Projekt "Verbundprojekt 2: Bestrahlungsfester GaAlN Photodetektor für den VUV - Spektralbereich - Teilprojekt 3: Entwicklung von Epitaxieprozessen und Prozessierungsschritten für VUV-Photodetektor" wird vom Umweltbundesamt gefördert und von Ferdinand-Braun-Institut, Leibniz-Institut für Höchstfrequenztechnik im Forschungsverbund Berlin e.V. durchgeführt. Gesamtziel des Verbundvorhabens ist die Entwicklung von UV- und VUV-Photodetektoren auf der Basis von AlGaN. Diese Detektoren sollen eine Photoempfindlichkeit von größer als 0.08 A/W und Dunkelströme kleiner als 10 pA aufweisen. Sie sollen kurzwellige Bestrahlung (172 nm) mit 10 mW/cm2 über 100 h überstehen. Es werden Schichtstrukturen mit hohem Al-Gehalt für VUV-Detektoren entwickelt. Mit diesen Schichten wird ein Prozess für MSM-Photodioden entwickelt und die Prozessentwicklung für Schottky-Kontakt-PD wird mit Teilschrittentwicklungen unterstützt. Die Beschichtung von Bauelementstrukturen zum Schutz vor Degradation wird in die komplette Prozesskette integriert.

Types:

SupportProgram

Origin: /Bund/UBA/UFORDAT

Tags: Aluminiumgehalt ? Messgerät ? Berlin ? Sensor ? UV-Strahlung ? Messtechnik ? Spektralanalyse ? Bestrahlung ? Beschichtung ? Verfahrenstechnik ? Oberflächenbehandlung ? Abbau ? Bauelement ? Spektrum ? Wellenlänge ?

Region: Berlin

Bounding box: 10.44987° .. 10.44987° x 54.03573° .. 54.03573°

License: cc-by-nc-nd/4.0

Language: Deutsch

Organisations

• Bundesministerium für Bildung und Forschung (Bereitsteller*in)
• Ferdinand-Braun-Institut, Leibniz-Institut für Höchstfrequenztechnik im Forschungsverbund Berlin e.V. (Betreiber*in)
• JENOPTIK Polymer Systems GmbH (Mitwirkende)
• Sentech Instruments GmbH (Mitwirkende)
• Technische Universität Berlin, Institut für Festkörperphysik, Arbeitsgruppe Prof. Dr. M. Kneißl (Mitwirkende)
• Umweltbundesamt (Bereitsteller*in)

Time ranges: 2010-07-01 - 2013-06-30

Resources

• Webseite zum Förderprojekt

  https://www.tib.eu/de/filter?repno=03WKBT02C (Webseite)

Status

Aktiv

Quality score

• Overall: 0.43
• Findability: 0.57

  • Description: 0.44
  • Identifier: false
  • Keywords: 0.93
  • Spatial: RegionIdentified (1.00)
  • Temporal: true
• Accessibility: 0.50

  • Landing page: Unknown (0.00)
  • Direct access: false
  • Publicly accessible: true
• Interoperability: 0.00

  • Open file format: false
  • Media type: false
  • Machine-readable metadata: false
  • Machine-readable data: false
• Reusability: 0.67

  • License: ClearlySpecifiedAndFree (1.00)
  • Contact info: false
  • Publisher info: true

Accessed 1 times.