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Stoffbelastung in der Mikroelektronik

Description: Das Projekt "Stoffbelastung in der Mikroelektronik" wird vom Umweltbundesamt gefördert und von Dr. W. Pahlmann durchgeführt. Die Herstellung elektronischer Bauteile erfordert den Umgang mit einer Vielzahl von Substanzen mit teilweise gefaehrlichen Eigenschaften. Die Befragung von Anwendern der Halbleitertechnologie zur Bestandsaufnahme der aktuellen Situation ergab 358 Stoffe und deren Verwendungsprofil. Zur Ermittlung und Beurteilung der Belastungssituation wurden Einsatzbedingungen, Stoffstroeme, Prozesse und der Stand der Arbeitssicherheit vor Ort bei Produzenten, Forschungs- und Entwicklungsinstitutionen untersucht. Ergaenzend wurden Expositionsmessungen an repraesentativen Arbeitsplaetzen unter Anwendung entsprechend modifizierter Messverfahren durchgefuehrt. Sowohl bei dauernder als auch kurzfristiger Exposition waren die Konzentrationswerte niedriger als die Grenzwerte, in den meisten Faellen sogar erheblich. Hohe Standards und uebereinstimmende technologische und arbeitsmedizinische Zielsetzungen der Prozess- und Arbeitssicherheit ermoeglichen langfristig einen sicheren Umgang mit Stoffen, von denen bisher ueber 50 Prozent als Gefahrstoffe bekannt sind. Die Stoffbelastung bei der Halbleiter-Fertigung ist gegenwaertig aussergewoehnlich niedrig und wird vermutlich in Zukunft weiter abnehmen.

Types:

SupportProgram

Origin: /Bund/UBA/UFORDAT

Tags: Schadstoffbelastung ? Bundesrepublik Deutschland ? Arbeitsmedizin ? Elektrotechnik ? Expositionsdauer ? Messprogramm ? Schadstoffexposition ? Konzentrationswert ? Arbeitsplatz ? Arbeitsschutz ? Emissionsminderung ? Gefahrstoff ? Messverfahren ? Mikroelektronik ? Produktionstechnik ? Bestandsaufnahme ? Befragung ? Empirische Untersuchung ? Grenzwert ? Halbleiter ? Belastungsanalyse ? Expositionsmessungen ? Halbleitertechnologie ? Prozesssicherheit ? Verwendungsprofil ?

License: cc-by-nc-nd/4.0

Language: Deutsch

Organisations

Time ranges: 1989-09-01 - 1989-12-31

Status

Quality score

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