Description: Das Projekt "Teilvorhaben Linde AG: Bereitstellung Gase & Entwicklung neuer Prozesse und Generatoren" wird vom Umweltbundesamt gefördert und von Linde AG, Geschäftsbereich Linde Gas durchgeführt. (a) Entwicklung einer Anlage zur Erzeugung von Fluor (F2) und zur Versorgung einer Plasmaanlage für die Herstellung von kristallinen Solarzellen. Die Versorgung soll hierbei im subatmosphärischen Druckbereich erfolgen. Per Elektrolyse wird F2 erzeugt und in einem Pufferbehälter bei kleiner als 1 bar(g) gespeichert. Mittels der Vakuumpumpen der Plasmaanlage wird F2 vom Pufferbehälter in die Prozesskammer gesaugt. Hierdurch wird das Gefährdungspotential durch Austritt von F2 (bei Rohrleitungsbruch) eliminiert. (b) Entwicklung von Prozessen zur Texturierung von Wafern, Sägeschadenätzen, Entfernen von Phosphorglas & Abtrag des Rückseitenemitters mittels F2-Plasma. Entwicklung von Plasmaätzprozessen durch anwendungstechnische Spezialisten von Linde gemeinsam mit den Kooperationspartnern. Die Versorgung mit F2 erfolgt zunächst mittels Flaschen. Entwicklung des Generators zur Versorgung im subatmosphärischen Druckbereich. Aufbau eines Testgenerators & Demonstration der Sicherheit und Funktionalität. Transfer und Aufbau bei Roth & Rau zur Versorgung der Demonstrationsanlage.
Types:
SupportProgram
Origin: /Bund/UBA/UFORDAT
Tags: Linde ? Plasmatechnik ? Fluor ? Solarzelle ? Elektrolyse ? Gasförmiger Stoff ? Chemische Verfahrenstechnik ? Generator ? Sicherheitstechnik ? Gefährdungspotenzial ? Anlagenbau ? Umweltverträglichkeit ? Flasche ? Vakuumpumpe ?
Region: Bayern
Bounding box: 12.53381° .. 12.53381° x 47.795° .. 47.795°
License: cc-by-nc-nd/4.0
Language: Deutsch
Time ranges: 2012-07-01 - 2015-12-31
Webseite zum Förderprojekt
https://www.tib.eu/de/filter/?repno=0325371C (Webseite)Accessed 1 times.