Das Projekt "Entsorgung von umweltgefährdenden Abgasen aus Ätz- und Abscheideanlagen unter Verwendung plasma- bzw. katalysegestützter Verfahren" wird vom Umweltbundesamt gefördert und von Centrotherm Elektrische Anlagen GmbH & Co durchgeführt. Zielsetzung und Anlass des Vorhabens:
Entwicklung neuer innovativer Lösungen zur Emissionsminderung von langlebigen gasförmigen Fluorverbindungen, insbesondere der Fluorkohlenstoffe, unter besonderer Berücksichtigung ökologischer und ökonomischer Aspekte durch Kopplung der plasmatechnischen Reinigung mit katalytischen Systemen zur Erhöhung der Entsorgungseffizienz sowie zur Evaluierung neuer Technologien zur Abgasreinigung der bei Abscheide- und Ätzprozessen anfallenden Emissionen.
Fazit:
1. Im Rahmen des Förderprojektes wurde das in der ersten Projektphase erarbeitete Konzept zur Abgasentsorgung mittels Mikrowellenplasma von insbesondere in der Halbleiterindustrie und artverwandten Industriezweigen anfallenden, die Atmosphäre belastenden Schadstoffen (Treibhauseffekt!), modifiziert.
2. Es wurden dabei Ergebnisse erzielt, die für die Projektpartner als Vertreter kleiner oder mittlerer Unternehmen eine aussichtsreiche wissenschaftliche Basis für die nachfolgende zielgerichtete Vermarktung der gewonnenen Resultate bilden.
3. Darüber hinaus stellt die entwickelte Technologie eine effiziente Möglichkeit zur ökologischen und ökonomischen Abgasreinigung der Fluorkohlenstoffe dar, welche zusätzlich auf dem Gebiet der Umwelttechnik für einen innovativen Anschub weiterer Entwicklungen hilfreich sein kann.