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Teilprojekt: Herstellung von langzeitstabilen Quarzglastiegeln für monokristalline CZ-Solarwafer

Das Projekt "Teilprojekt: Herstellung von langzeitstabilen Quarzglastiegeln für monokristalline CZ-Solarwafer" wird vom Umweltbundesamt gefördert und von Heraeus Quarzglas GmbH & Co. KG durchgeführt. Ziel des Vorhabens ist die Entwicklung langzeitstabiler Quarzglastiegel, welche es durch längere Tiegelstandzeiten erlauben, mehr Kristallmaterial aus einem Quarzglastiegel zu ziehen und so die Kristall- bzw. Waferkosten deutlich absenken. Neben der Erhöhung der Standzeit des Tiegels ist ein weiteres Ziel, durch modifizierte Tiegelmaterialien bzw. Tiegelformen den Eintrag von Sauerstoff aus dem Tiegelmaterial in den Kristall zu verringern. (i) Entwicklung von dotierten Quarzglastiegeln: Dotierungen im Quarzglas können zu signifikant veränderten Eigenschaften des Quarzglases führen. So bewirkt eine geringe Dotierung von z. B. Aluminium eine Erhöhung der Viskosität. In diesem Arbeitspaket werden Tiegel mit verschiedenartig dotierten Quarzglasinnenschichten entwickelt und diese dann bei den Partnern im Cz-Verfahren Langzeitstabilität getestet. Diese Tiegel werden vor und nach dem Kristallziehprozess hinsichtlich ihrer Innenschichten charakterisiert und bewertet. (ii) Entwicklung von Sonderkonstruktionen von Quarzglastiegeln in Hinblick auf geringen Sauerstoffeintrag: Das Ziel dieses Arbeitspaketes ist es, mit neuen Tiegelformen gezielt Konvektionsströmungen zu verändern um Verunreinigungen aus dem Quarztiegel von der Phasengrenze fernzuhalten und damit den Einbau in den Siliziumkristall zu verhindern. Dazu werden verschiedene Sonderkonstruktionen von Quarzglastiegeln entwickelt und erprobt. Mit der Verfügbarkeit einer neuen Czochralski - Technologie, die durch neuartige Tiegelmaterialien und entsprechend angepasste Prozessführungen sehr sauerstoffarme Siliziumkristalle liefert, ist es möglich Mitteldeutschland als führenden Standort der Photovoltaikindustrie langfristig zu sichern. Die mitteldeutsche Photovoltaikindustrie wird im Anschluss an die Laufzeit dieses Projekts einige Jahre technologische Feinarbeit leisten müssen, um alle Entwicklungen und Kostenreduktionspotentiale, die in diesem Vorhaben erzielt und ermittelt werden, in die Produktion umzusetzen.

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