Das Projekt "Teilvorhaben: Evaluierung und Weiterentwicklung von LPCVD-Prozessen für intrinsische und dotierte poly-Si-Abscheidungen" wird vom Umweltbundesamt gefördert und von centrotherm photovoltaics AG durchgeführt. Die weitere Wirkungsgradsteigerung von industrietypischen Solarzellen wird wesentlich durch die Rekombination an den Metallkontakten limitiert. Ein vielversprechender, in der Mikroelektronik bereits etablierter Ansatz zur Minimierung der Kontaktrekombination, ist die Nutzung von poly-Si/c-Si-Übergängen. Diese haben gleichzeitig sehr niedrige spezifische Kontaktwiderstände. Die Herausforderung bei der Übertragung dieser Technologie auf die PV ist die Integration in einen schlanken Prozessfluss. Da das poly-Si auf Zellvorder- und Rückseite unterschiedlich dotiert werden muss, ist eine Methode zur einseitigen Abscheidung von in-situ dotierten poly-Si bzw. zur einseitigen Dotierung von intrinsisch abgeschiedenem poly-Si notwendig. Die Evaluation von drei vielversprechenden Ansätzen hierfür ist Kern des POLO-Projektes. Dabei sollen Wirkungsgrade größer als 23% auf industrietypischen Solarzellen erreicht werden. Der Schwerpunkt des ISFH liegt auf der gezielten Herstellung des Grenzflächenoxides, der Evaluation der poly-Si-Herstellungsmethode, der Charakterisierung von Lebensdauer-Testwafern, der Abscheidung und Charakterisierung und Optimierung von transparenten, leitfähigen Oxiden sowie auf Zellprozessierung, -charakterisierung und -optimierung. Der Schwerpunkt des Instituts für Materialien und Bauelemente (MBE) der Leibniz Universität Hannover liegt auf der strukturellen Charakterisierung der poly-Si-Sichten und des Grenzflächenoxides, der Untersuchung der a-Si-zu-poly-Si Rekristallisation sowie auf der Durchführung der Ionenimplantation im Rahmen der Zellprozessierung. Der Schwerpunkt von Centrotherm liegt auf der Durchführung und Weiterentwicklung der LP-CVD-Abscheidung von intrinsischem und in-situ dotiertem poly-Si und der Herstellung von dünnen Oxiden in der LP-CVD. Des Weiteren wird Centrotherm Wirtschaftlichkeitsbetrachtungen zu den entwickelten Prozessen durchführen. Roth&Rau beteiligt sich als 'assoziierter Partner' mit Kreuzprozessierungen.
Das Projekt "Teilvorhaben: Evaluation von Prozessen zur Herstellung von poly-/monokristallinen Si-Übergängen mit lokalen Dotiertechniken" wird vom Umweltbundesamt gefördert und von Leibniz Universität Hannover, Institut für Materialien und Bauelemente der Elektronik durchgeführt. Die weitere Wirkungsgradsteigerung von industrietypischen Solarzellen wird wesentlich durch die Rekombination an den Metallkontakten limitiert. Ein vielversprechender, in der Mikroelektronik bereits etablierter Ansatz zur Minimierung der Kontaktrekombination ist die Nutzung von poly-Si/c-Si-Übergangen. Diese haben gleichzeitig sehr niedrige spezifische Kontaktwiderstände, so dass auch Widerstandsverluste minimiert werden. Die Herausforderung bei der Übertragung der poly-Si/c-Si-Technologie auf die PV ist die Integration in einen schlanken Prozessfluss. Da das poly-Si auf Zellvorder- und Rückseite unterschiedlich (p und n) dotiert werden muss, ist eine Methode zur einseitigen Abscheidung von in-situ dotierten poly-Si bzw. zur einseitigen Dotierung von intrinsisch abgeschiedenem poly-Si notwendig. Die Evaluation von drei vielversprechenden Ansätzen hierfür ist Kern des POLO-Projektes. Dabei sollen Wirkungsgrade größer als 23% auf industrietypischen Solarzellen erreicht werden. Der Schwerpunkt des ISFH liegt auf der gezielten Herstellung des Grenzflächenoxides, der Evaluation der poly-Si-Herstellungsmethode, der Charakterisierung von Lebensdauer-Testwafern, der Abscheidung und Charakterisierung und Optimierung von transparenten, leitfähigen Oxiden sowie auf Zellprozessierung, -charakterisierung und -optimierung. Der Schwerpunkt des Instituts für Materialien und Bauelemente (MBE) der Leibniz Universität Hannover liegt auf der strukturellen Charakterisierung der poly-Si-Sichten und des Grenzflächenoxides, der Untersuchung der Kristallisation von a-Si zu poly-Si sowie auf der Durchführung der Ionenimplantation im Rahmen der Zellprozessierung. Der Schwerpunkt von Centrotherm liegt auf der Durchführung und Weiterentwicklung der LP-CVD-Abscheidung von intrinsischem und in-situ dotiertem poly-Si. Des Weiteren wird Centrotherm Wirtschaftlichkeitsbetrachtungen zu den entwickelten Prozessen durchführen. Roth&Rau beteiligt sich als 'assoziierter Partner' mit Kreuzprozessierungen.