Das Projekt "Entwicklung eines integrierten ISFET-Fluidik-Mikrosystems zur dynamischen ionometrischen Messwerterfassung" wird vom Umweltbundesamt gefördert und von Fraunhofer-Institut für Mikroelektronische Schaltungen und Systeme durchgeführt. Das Gesamtziel des Verbundvorhabens bestand in der Entwicklung eines integrierten Mikrosystems zur ionometrischen Messwerterfassung, bestehend aus fluidischen und elektronischen Komponenten, Die Aufgaben im Rahmen des Teilvorhabens des IMS Dresden gliederten dabei sich in zwei Komplexe: - in einen technolog. Komplex zur Entwicklung von ISFET mit rueckseitig angebrachter ionensensitiver Membran zur Einbindung in das Fluidik-Mikrosystem, und - in die Mitarbeit bei der Konzeption der Messstrategie fuer die systeminterne Signalverarbeitung und den Entwurf eines entsprechenden ASIC in CMOS-Technologie. Die Aufgabe des IMS2 bestand u.a. in der Entwicklung von ISFET, die den direkten Kontakt zwischen dem aktiven Sensorbereich, d.h. dem Kanalgebiet des Transistors, und der Mess- bzw. Kalibrierloesung ermoeglichen, und ohne zwischengeschaltetes Spacerchip ueber den Oeffnungen des Fluidikkoerpers angebracht werden koennen. Als Loesung wurde der Rueckseitenmembran-ISFET (RSM-ISFET) gewaehlt, bei dem das Kanalgebiet durch selektive Entfernung des Bulk-Siliziums von der Chiprueckseite her zugaenglich gemacht und mit der ionenempfindlichen Membran versehen wird. Alle sonstigen Kontakt- und Leitbahnstrukturen des Sensors sind dabei wie ueblich auf der Chipvorderseite angebracht, so dass zur Kontaktierung die konventionelle Drahtbondtechnik eingesetzt werden kann.