Das Projekt "Teilvorhaben: Grundlagenentwicklung für ein lateral hochauflösendes spektroskopisches Ellipsometer" wird vom Umweltbundesamt gefördert und von Fraunhofer-Institut für Zerstörungsfreie Prüfverfahren, Insitutsteil Dresden durchgeführt. Das zentrale Ziel dieses Vorhabens ist die Demonstration von Ellipsometrie-Messungen an Masken mit einer stark verbesserten lateralen Auflösung. Für die optische Inspektion und non-invasive geometrische Oberflächencharakterisierung von Strukturen im entwickelten Photolack der High-End Fotomasken sollen die grundlegenden Technologien für ein lateral hochauflösendes spektroskopisches Ellipsometer mit einer Spotgröße von 10 mym erforscht werden. Die im Vergleich zur konventionellen Ellipsometrie um den Faktor 10 erhöhte laterale Auflösung gestattet die flächenmässige Verkleinerung von Testfeldern auf High-End Fotomasken um zwei Größenordnungen und die Verbesserung der LER. So kann die Energieeffizienz von zukünftigen Halbleiterprozessoren um den Faktor 2 gesteigert werden. Nach der Definition der Komponentenanforderungen aus Sicht der Applikation und Erarbeitung eines umfassenden Systemkonzeptes wird der Aufbau des konfokalen Mikroeleipsometres in mehreren Schritten erfolgen: Interferometer mit implementierter fouriertransformierender (FT) Polarisationsspektroskopie, Implementierung der konfokalen Abbildung, des Autofokus und der spektralen Aufnahme, Aufbau eines FT-konfokalen Mikroellipsometers, Entwicklung eines entsprechenden kippbaren Tisches für den experimentellen Aufbau. Für alle Teilschritte ist die Entwicklung entsprechender Kalibrierungsprozeduren, die Vermessung von Teststrukturen und die vergleichende Messungen an etablierten Ellipsometern notwendig.
Das Projekt "Untersuchung des Sorptionsverhaltens wohnraumumschliessender Materialien" wird vom Umweltbundesamt gefördert und von Universität-Gesamthochschule Essen, Fachbereich 10 Bauwesen, Institut für Bauphysik und Materialwissenschaft durchgeführt. Die relative Luftfeuchte muss aus hygienischen Gruenden begrenzt werden. Insbesondere fuehren zu hohe Werte zur Oberflaechenkondensation und damit zu Schaeden an Aussenwaenden. Hygroskopische Materialien sind aufgrund ihrer Feuchtespeicherfaehigkeit in der Lage, starke Schwankungen der relativen Luftfeuchte zu daempfen. Die feuchtepuffernde Wirkung wohnraumumschliessender Materialien ist daher fuer den Feuchtehaushalt wesentlich. Im beantragten Forschungsvorhaben soll das dynamische hygroskopische Verhalten ausgewaehlter, in der Praxis gebraeuchlicher Materialien und Materialkombinationen modellmaessig beschrieben und so ausgewertet werden, dass reale Verhaeltnisse in Raeumen simuliert und vergleichend untersucht werden koennen. Die Beruecksichtigung der Sorption bei einer Raumfeuchtebilanz ist nicht trivial, da sowohl der Feuchtetransport als auch die Feuchtespeicherung abhaengig von der feuchtetechnischen Vorgeschichte sind. Die hygroskopische Feuchteaufnahme und -abgabe und damit die Feuchtepufferung durch sorptionsfaehige Materialien laesst sich aus der zeitlichen Aenderung der relativen Raumluftfeuchte und einer materialspezifischen Funktion, der Feuchtepufferfunktion, mit dem Faltungsintegral berechnen. Die Feuchtepufferfunktion entspricht der Antwort der Materialschicht auf einen Feuchteimpuls. Bei der Bestimmung der Feuchtepufferfunktion handelt es sich mathematisch gesehen um ein sogenanntes inverses schlecht gestelltes Problem, fuer dessen Loesung spezielle Loesungsverfahren wie z.B. das Regularisierungsverfahren nach Phillips-Tikhonov oder die Loesung mittels Fourier-Transformation verwendet werden koennen. In dem Forschungsvorhaben soll das dynamische hygroskopische Verhalten wohnraumumschliessender Baustoffe untersucht werden. Ziel ist es, dieses Verhalten zu beschreiben.