Das Projekt "NanoExpo - Nanobalancedetektor für personenbezogene Messungen von Nanopartikel-Expositionen" wird vom Umweltbundesamt gefördert und von Technische Universität Braunschweig, Institut für Halbleitertechnik durchgeführt. 1. Vorhabenziel Nanopartikelzähler sind teuer und verhältnismäßig groß, Messungen unter realistischen Bedingungen sind damit nur sehr eingeschränkt möglich. Doch zur frühzeitigen Erkennung von Risiken sind Daten unter eben solchen realistischen Bedingungen in ausreichender Zahl erforderlich. Um Regeln zum Umgang mit Nanopartikeln im Produktionsbereich definieren zu können, ist daher zunächst eine Vereinfachung und Verkleinerung von Partikelzählern erforderlich. Ziel dieses Vorhabens ist es, mit Hilfe von nanoskalig strukturierten Halbleitern neuartige Bauelemente zur personenbezogenen Nanopartikel-Analyse in der Produktion zu entwickeln. Diese Bauelemente sollen in der Art eines Dosimeters eine mobile kontinuierliche Erfassung der Nanopartikel-Exposition ermöglichen. 2. Arbeitsplanung Mit aktiv und passiv beaufschlagten nanoskaligen Waagen wird die Partikelmasse direkt detektierbar gemacht. Zudem ist geplant, durch Techniken zur Vorselektierung in Größenklassen eine Größenverteilung erfassbar zu machen. Die Basis für diese Entwicklung ist die Halbleiter-Planartechnologie, die eine Kombination der erforderlichen Komponenten und Funktionen im Mikrometer- bis Nanometermaßstab ermöglicht, insbesondere das 3-dimensionale Strukturieren von Silizium. Um eine anwendungsnahe Entwicklung des Sensors für die Erfassung personenbezogener Expositionen sicherzustellen, ist in allen Phasen eine Überprüfung der Bauelemente bezüglich des Nachweises produktionstechnisch relevanter Nanopartikel vorgesehen.