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Q-Wafer: Verfahrensentwicklung: Messtechnik und Methodik zur Extraktion und Bewertung von Qualitätsmerkmalen und Anwendung auf hocheffiziente PERC-Solarzellen

Das Projekt "Q-Wafer: Verfahrensentwicklung: Messtechnik und Methodik zur Extraktion und Bewertung von Qualitätsmerkmalen und Anwendung auf hocheffiziente PERC-Solarzellen" wird vom Umweltbundesamt gefördert und von Fraunhofer-Institut für Solare Energiesysteme durchgeführt. Mangels geeigneter Messtechnik und v. a. mangels einheitlicher, geeigneter Kriterien für eine Qualitätsbewertung kann die elektrische Materialqualität von mc-Si Wafern für die Solarzellenproduktion nur unzureichend bestimmt werden, was die Produktionseffizienz entlang der gesamten Wertschöpfungskette beeinträchtigt. Ziel des Projekts ist daher die Entwicklung einer standardisierbaren und schnellen Qualitätsbewertung von mc-Si Wafern mittels Photolumineszenz (PL). PL an mc-Si Wafern liefert ortsaufgelöste Information über Kristallfehler und Verunreinigungen, ist inline einsetzbar und damit sehr gut geeignet für eine 100 Prozent Kontrolle der Waferqualität. Für eine automatische PL-Bildbewertung müssen Bildverarbeitungsalgorithmen zur Merkmalsextraktion entwickelt werden. Um die erforderliche Mindestinformation für eine erfolgreiche Vorhersage zu bestimmen, muss eine breite Datenbasis geschaffen werden und ein repräsentativer Querschnitt an Wafern von unterschiedlichen Herstellern aus unterschiedlichen Prozessführungen und unterschiedlichen Positionen im Tiegel und Brick untersucht werden. Die extrahierten Merkmale müssen anhand von Referenzmethoden auf ihren physikalischem Hintergrund untersucht werden. Um Relevanz und Vollständigkeit der extrahierten Information zu überprüfen, müssen Wafer mit unterschiedlichen Zellprozessen zu Solarzellen prozessiert werden. Um große Wafermengen analysieren zu können, soll im Rahmen eines Unterauftrags ein Messautomat mit Inline-PL-Modul von einem Messtechnikanbieter entwickelt werden.

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