Das Projekt "Teilprojekt 3: Kohlenstoffbasierte Schichten" wird vom Umweltbundesamt gefördert und von Roth und Rau Oberflächentechnik durchgeführt. Unter Verwendung der vorhandenen Basistechnologien (PE-CVD/Arc/Sputter) werden haftfeste Trockenschmierstoff-Schichten erzeugt, die in ihren Eigenschaften optimiert werden. Bei Einsatz metallorganischer Precursoren fuer die Ausbildung von Interface- und Haftschichten wird der Beschichtungsprozess durch PE-CVD-Verfahren realisiert. Optimierungsziel ist einerseits die hohe mechanische Belastbarkeit (Verschleiss, Schichtfestigkeit) und andererseits die Vermeidung von Schmiermitteln bzw. der Einsatz einer Minimalschmierung. Die Kohlenstoffschichten bieten auf Grund der grossen moeglichen Eigenschaftsvariation ueber entsprechende Prozessparameter eine ideale Grundlage fuer die Eigenschaftsanpassung innerhalb eines Schichtverbundes. Haftschicht (zum Substratmaterial), Tragschicht und funktionale Deckschicht (Feststoffschmierung) sind damit erzeugbar. Die vorgeschlagene Kombinationstechnik bietet die Moeglichkeit, werkstoffspezifische Anpassungen auszufuehren.