Das Projekt "Anlagen- und Prozessentwicklung für im Durchlauf aufgedampfte Solarzellenkontakte (VAMOS - Vacuum Metallization Of Solar cells)" wird vom Umweltbundesamt gefördert und von Institut für Solarenergieforschung GmbH durchgeführt. Die Ziel des Vorhabens ist die Entwicklung von Prozessen zum Herstellen der elektrischen Kontakte von Solarzellen mittels Durchlauf-Hochratenvakuumaufdampfens und das Anpassen der zugehörigen Anlagentechnik an die Erfordernisse der Prozesse. Das neue Verfahren soll die herkömmliche Siebdrucktechnik als heutiges Standardmetallisierungsverfahren ablösen und sich dazu eignen, hocheffiziente Solarzellen in der Massenfertigung herzustellen. Nach Installation der benötigten Anlagentechnik am ISFH werden folgende Fragestellungen untersucht: (i) Minimieren der Wafertemperaturen während des Aufdampfens, (ii) Minimieren der Durchbiegung großer dünner Wafer, (iii) Reduzieren der Schädigung der Oberflächenpassivierung und des Siliciumvolumens und (iv) Optimieren der Kontakteigenschaften zum Herstellen hocheffizienter Solarzellen. In der zweiten Hälfte der Projektlaufzeit wird die Anlage allen deutschen Solarzellenherstellern im Rahmen eines Workshops vorgestellt und die Möglichkeit eröffnet, die Anlage und die neuen Prozesse zur Anwendung auf eigene Zellkonzepte am ISFH testen und individuelle Prozesse entwickeln und optimieren zu lassen.