Das Projekt "Teilvorhaben: Verbesserung von Inversionsschichtsolarzellen durch neuartige MIS-Kontakte" wird vom Umweltbundesamt gefördert und von Universität Erlangen-Nürnberg, Institut für Werkstoffwissenschaften durchgeführt. Aufgrund der grossen Bedeutung der MIS-Kontakte fuer die Funktion der MIS-Inversiosnschichtsolarzelle sollen die Eigenschaften dieser Kontakte und damit Wirkungsgrad, Zuverlaessigkeit und Prozessausbeute der Solarzellen verbessert werden. Das thermisch erzeugte Siliziumoxid soll durch fehlerfreie, mit Hilfe verschiedener Plasma-Niedertemperaturtprozesse hergestellte Schichten aus Siliziumnitrid und Siliziumoxynitrid ersetzt werden. Neben der Untersuchung der elektrischen Eigenschaften steht die mehr grundlagenorientierte zur Interpretation der Ergebnisse erforderliche Analyse der ultraduennen Isolatorschichten und ihrer Grenzflaechen nach der am Institut entwickelten infrarotspektroskopischen GIR-Methode im Vordergrund. Schliesslich sollen die neuartigen MIS-Kontakte fuer Inversionsschichtsolarzellen eingesetzt und optimiert werden. Es werden begleitende Unteruschungen zu Arbeiten der Verbundpartner TU Chemnitz und der Firma NUKEM durchgefuehrt.