Das Projekt "CIS-Abscheidung mit hoher Produktivität" wird vom Umweltbundesamt gefördert und von Von-Ardenne-Anlagentechnik GmbH durchgeführt.
Das Projekt "CIS-Abscheidung mit hoher Produktivität" wird vom Umweltbundesamt gefördert und von Zentrum für Sonnenenergie- und Wasserstoff-Forschung Baden-Württemberg durchgeführt.
Das Projekt "Konzeptionelle Weiterentwicklung der CIS-Abscheidung und Umsetzung und Nachweis einer hohen Produktivität im CIS-Prozess und damit für die gesamte Pilotlinie" wird vom Umweltbundesamt gefördert und von Würth Solar GmbH & Co.KG durchgeführt.
Das Projekt "Teilvorhaben: Neue Verfahren zur Erhoehung der Leerlaufspannung von MIS-Inversionsschicht-Solarzellen" wird vom Umweltbundesamt gefördert und von Technische Universität Chemnitz, Institut für Physik durchgeführt. Fuer die Herstellung von MIS-Inversionsschichtsolarzellen wurden neue Verfahrensschritte (Rapid-Thermal-Processing) eingesetzt. Insbesondere wurden folgende Arbeiten durchgefuehrt: - Herstellung eines qualitativ hochwertigen Tunnelisolators (Si-Oxid, Si-Oxynitrid) im Temperaturbereich 700 C bis 900 C durch RTP; - Untersuchungen zum Einlegieren des Al-Rueckseitenkontaktes und die Auswirkungen auf die Parameter von MIS-Solarzellen; - Optimierung von technologischen Prozessen zur Herstellung von MIS-Zellen. Mit dieser Technologie konnten MIS-Inversionsschichtsolarzellen hergestellt werden. Dabei wurde bei der Verwendung von texturiertem Cz-Si ein Wirkungsgrad von 16,2 Prozent erreicht (I(ind=sc)=35,3 mA/cm2, U(ind=oc)=600 mV, FF= 76,4 Prozent). Mit dem Einsatz von Si-Oxynitrid als Tunnelisolator wird die Temperaturstabilitaet des MIS-Tunnelkontakts (bis zu 350 C) wesentlich verbessert.
Das Projekt "Neue Verfahrensschritte zur Wirkungsgradverbesserung von MIS-Solarzellen" wird vom Umweltbundesamt gefördert und von Technische Universität Chemnitz, Zentrum für Mikrotechnologien durchgeführt. Verbesserung des Wirkungsgrades der MIS-Inversionsschicht-Solarzelle, insbesondere der Parameter Leerlaufspannung und Fuellfaktor. Als neue Verfahrensschritte sind die Kurzzeitoxidation ueber 650 Grad Celsius zur Erzeugung eines verbesserten Tunneloxid am MIS-Kontakt, das Einlegieren des Aluminium-Rueckkontakts in Verbindung mit diesem RTO-Prozess und die Nutzung quantifiziert aufgebrachter statischer Oberflaechenladungen im Solarzellenaufbau bzw in der zugehoerigen elektrischen Messtechnik vorgesehen. Dazu gehoert auch die vertiefte Analyse ohmscher Verluste am Rueckkontakt.