Das Projekt "Teilprojekt: Fraunhofer ISE" wird vom Umweltbundesamt gefördert und von Fraunhofer-Institut für Solare Energiesysteme durchgeführt. Im Rahmen dieses Projektes sollen die Arbeiten des QUASSIM Projektes zur Entwicklung eines innovativen Konzeptes der Produktionskontrolle in einer waferbasierten Zellfertigung fortgesetzt werden, um wesentliche neue Aspekte aus den bisherigen Arbeiten weiter zu erforschen und umzusetzen und so das Konzept zu verbessern. Die neuen Ansatzpunkte betreffen die vier Teilbereiche Produktionskontrolle, Prozesskontrolle, Materialtracking und Inline-Messtechnik. Hautziele der geplanten Arbeiten sind: (i) eine robustere Datenerfassung, (ii) eine umfassendere Qualitätskontrolle, (iii) die Bereitstellung von Konzepten für eine effizientere Gestaltung der Produktionsabläufe insb. im komplexen Umfeld einer F&E Linie. Partner des Aufstockungsprojektes sind die Firma acp-IT (Verbundprojekt) und neu die Firmen Vitronic und h.a.l.m., die in den messtechnischen Themen große Expertise mitbringen. Geplante Entwicklungsarbeiten in dem erweiterten Projekt sind: (1) Materialtracking: Verfahren zur Waferidentifikation mittels Wafermarkierung oder Kornstrukturerkennung. (2) Produktionskontr.: Vereinfachte Experimentplanung, flexiblere Arbeitsplanverfolgung, F&E taugliche Module zum Scheduling und zur Prozesskostenkontrolle. (3) Prozesskontr.: Konzepte zur Überwachung von Stichprobenmessungen, Modul zur statistischen Experimentplanung. (4) Messtechnik: Inline-Verfahren zur Druckbild-, Kontaktwiderstands- und Stapelschichtanalyse, zur Hot-Spot Detektion/Bewertung und zur Messung von RSK-Zellen.