Das Projekt "Teilvorhaben: Bandbeschichtung mit amorphen und mikrokristallinen Solarzellen" wird vom Umweltbundesamt gefördert und von Technische Universität Dresden, Institut für Halbleiter- und Mikrosystemtechnik durchgeführt. Ziel im Vorhaben ist die gründliche Untersuchung des Rolle-zu-Rolle-Verfahrens (RzR) von der Folienbeschichtung mit Barriere- und Kontaktschicht (FEP) bis zur Herstellung der Solarzellen (TUD, FZJ). Die Antragsteller sehen in der Verwendung der VHF-Linienquelle mit ihrer Möglichkeit der Aufskalierung der Bearbeitungsbreite (bis zu 2 m) und der Anregungsfrequenz (bis zu 150 MHz) eine leistungsfähige Spitzentechnologie. Das Verfahren eignet sich ideal zur Beschichtung von Folien im Durchlaufprinzip. Im o.g. Verbundprojekt hat das Teilprojekt des Institutes für Halbleiter- und Mikrosystemtechnik der TU Dresden in Zusammenarbeit mit den Verbundpartnern die Aufgaben: 1.Dynamische Abscheidung von Einzelschichten und Solarzellen auf Foliensubstraten mit fahrendem Wagen (amorph und mikrokristallin) 2. Bandbeschichtung mit Einzelschichten und Solarzellen auf einem pendelnden Folienband unter VHF - Linienquellen (amorph und mikrokristallin) 3. Bandbeschichtung mit Tandemsolarzellen (Demonstratorherstellung).