Das Projekt "Teilvorhaben LPKF SolarQuipment GmbH: Systeme und Prozess für die Laserkontaktöffnung" wird vom Umweltbundesamt gefördert und von LPKF SolarQuipment GmbH durchgeführt. Das Teilvorhaben der LPKF SolarQuipment GmbH umfasst die Weiterentwicklung und Optimierung der Prozesse zur Laserkontaktöffnung mit dem Ziel der Optimierung der Rückseitenkontakte sowie die dazugehörige Untersuchung und Optimierung von Maschinenkomponenten sowie deren Integration zu einem Testsystem, an dem die Machbarkeit des produktionstauglichen PERC-Prozesses (Passivated Emitter Rear Cell) bei einem industrierelevanten Durchsatz nachgewiesen werden kann. Abschließend werden Prozess und Testsystem in den PERC-Prozess integriert und dessen Wirtschaftlichkeit untersucht und nachgewiesen. Das LPKF Teilvorhaben gliedert sich in die 3 Arbeitspakete (AP) AP2, AP3 und AP6. In AP2 wird zunächst eine Referenzlaserstrahlquelle und eine Referenzstruktur basierend auf den Untersuchungen am ISHF definiert. Im weiteren werden neue, am Markt verfügbare Laserstrahlquellen hinsichtlich ihrer Eignung für den Prozess geprüft, an der Referenzstruktur getestet und verglichen. In AP3 wird zunächst ein Anforderungsprofil für ein Testsystem unter Berücksichtigung prozess- und industrierelevanter Kriterien auf Basis einer Marktanalyse definiert. Anschließend werden erforderliche Kernkomponenten hinsichtlich ihrer Eignung untersucht, ausgewählt und in ein Testsystem integriert. An diesem Testsystem werden die weitere Prozessentwicklung und -optimierung durchgeführt. In AP6 werden alle neu entwickelten Teilprozesse aus den Arbeitspaketen 1 - 5 auf einen produktionstauglichen PERC-Prozess mit Wirkungsgraden über 21,5% übertragen, dessen Wirtschaftlichkeit überprüft und verifiziert.
Das Projekt "Teilvorhaben ISFH: Entwicklung höchsteffizienter industrieller PERC Solarzellen" wird vom Umweltbundesamt gefördert und von Institut für Solarenergieforschung GmbH durchgeführt. Das ISFH geführte Teilvorhaben unterstützt das HighPERC Projekt insbesondere bei der Entwicklung neuer, verbesserter Einzelprozesse für hocheffiziente PERC (Passivated Emitter Rear Cell) Solarzellen in enger Kooperation mit den beteiligten Anlagenbauern SINGULUS, LPKF und DEK. Die Anlagenbauer wiederum bringen in das HighPERC Projekt ebenfalls Einzelprozess-Entwicklungen ein sowie zum Teil auch die Entwicklung von neuen Prozessanlagen. Das ISFH unterstützt die Prozessentwicklungen der Anlagenbauer und entwickelt selbst einen hochwertigen, in Teilen laborartigen PERC Referenzprozess mit Wirkungsgraden bis 22,0% als Benchmark und Entwicklungsplattform für die industriellen Fertigungsprozesse. Während der HighPERC Projektlaufzeit sollen alle neu entwickelten Produktionsprozesse in einen produktionsreifen PERC Gesamtprozess integriert werden sowohl für monokristalline als auch multikristalline Silizium Wafer mit Wirkungsgraden bis 21,5%. Das ISFH Teilvorhaben gliedert sich in 6 Arbeitspakete (AP). In AP1 entwickelt das ISFH in Kooperation mit SINGULUS und Stangl neue nasschemische Politur- und Reinigungsprozesse sowie ICP PECVD Abscheideprozesse zur Oberflächenpassivierung von industriellen PERC Solarzellen. In AP2 und AP3 unterstützt das ISFH LPKF bei der Entwicklung neuer Laserprozesse für die Kontaktöffnung von PERC Solarzellen sowie bei der entsprechenden Anlagenentwicklung. In AP4 entwickelt das ISFH gemeinsam mit DEK neue Feinliniendruck Prozesse für hohe Wirkungsgrade und einen geringen Ag Verbrauch. Der industrienahe, hocheffiziente PERC Referenzprozess des ISFH wir in AP5 weiter optimiert mit Wirkungsgraden bis 22,0%. In AP6 werden dann die neuen Produktionsprozesse aus AP1 - 4 auf den PERC Referenzprozess aus AP5 übertragen zu einem produktionstauglichen PERC Prozess mit Wirkungsgraden über 21,5%.