Das Projekt "Neue Prozessgase zur Abscheidung von amorphen Silicium und seinen Kohlenstofflegierungen fuer Photovoltaik und Photosensorik" wird vom Umweltbundesamt gefördert und von Technische Universität München, Anorganisch-Chemisches Institut durchgeführt. Es werden neue Prozessgase fuer CVD-Verfahren entwickelt, insbesondere ternaere Systeme Si/C/H, Si/N/H und Si/O/H. Zielprodukte sind SiO2, Si3N4, a-Si, C:H.
| Origin | Count |
|---|---|
| Bund | 1 |
| Type | Count |
|---|---|
| Förderprogramm | 1 |
| License | Count |
|---|---|
| open | 1 |
| Language | Count |
|---|---|
| Deutsch | 1 |
| Resource type | Count |
|---|---|
| Keine | 1 |
| Topic | Count |
|---|---|
| Mensch & Umwelt | 1 |
| Weitere | 1 |