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Umwelttoxikologische Gefaehrdungsabschaetzung fuer komplexe Abprodukte aus Hochtechnologie-Plasmaprozessen: Chemisch-analytische Pilotphase

Das Projekt "Umwelttoxikologische Gefaehrdungsabschaetzung fuer komplexe Abprodukte aus Hochtechnologie-Plasmaprozessen: Chemisch-analytische Pilotphase" wird vom Umweltbundesamt gefördert und von Universität Halle-Wittenberg, Universitätsklinikum Halle (Saale), Institut für Umwelttoxikologie durchgeführt. Plasmaverfahren nutzen reaktive Chemikalien in hochenergetischen Prozessen zur Oberflaechenbehandlung. Die Verfahren fuehren zu undefinierten, primaer gasfoermigen Abfallstoffen, die teilweise in den Anlagen zu festen Abscheidungen kondensieren und in Abhaengigkeit vom Dampfdruck in die Umwelt emittiert werden. Analysendaten belegen, dass es sich um komplexe Stoffgemische aus anorganischen Reaktionsprodukten und organischen Verbindungen handelt. Die organischen Verbindungen sind im Falle halogenhaltiger Aetzgase perhalogenierte Kohlenwasserstoffe.Grundlegende Erkenntnisse zur Bildung und zur Toxikologie der Abfallstoffe konnten international erstmals im Rahmen von Untersuchungen unserer Arbeitsgruppen bei der Bearbeitung des Verbundvorhabens 'Gesundheitliche Risiken durch Plasmaaetzprozesse in der Halbleiterindustrie' (BMFT-Projekt; Foerdernummer 01 HK 571) gewonnen werden. In der Pilotphase des laufenden Forschungsprojektes wurden repraesentative Abprodukte aus Plasmaprozessen chemisch-analytisch charakterisiert. Die analytischen Leitkomponenten wurden ermittelt und mit geeigneten chemischen und physikalischen Methoden fraktioniert. Nach Vorlage der qualitativen und quantitativen Analysendaten erfolgt nun eine Begutachtung, bevor in einem beantragten Folgeprodukt toxikologische Testsysteme zur Charakterisierung der Gemische und Fraktionen eingesetzt werden. Die Ergebnisse sollen umweltmedizinische Vorsorge- und Ueberwachungsmoeglichkeiten schaffen und die Basis fuer die Entwicklung integrierter Rueckhaltesysteme und Entsorgungsverfahren bilden.

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