Das Projekt "Teilvorhaben FhG-ISE: Entwicklung Prozesstechnologie einseitiger Ätzprozesse und Integration in PERC Zellkonzepte" wird vom Umweltbundesamt gefördert und von Fraunhofer-Institut für Solare Energiesysteme durchgeführt. Wesentliches Ziel des Projektes NAPOLI ist die Entwicklung einer wirtschaftlichen und industriell umsetzbaren Technologie zur Erzeugung einer Waferoberflächenstruktur mit texturierter Vorder- und polierter Rückseite, wie sie für hocheffiziente Solarzellenstrukturen wünschenswert erscheint. Aufgrund der verwendeten Chemikalien und den damit verbundenen schnellen Prozesszeiten sollen die Texturierungs- und Politurprozesse dabei auf einer Durchlaufanlage entwickelt werden, womit des Weiteren die einseitige Bearbeitung nur einer Waferseite ermöglicht wird. Die geschickte Integration des erforderlichen Politurprozesses in Kombination mit der vorderseitigen Texturierung in die Herstellungskette soll eine möglichst stringente, robuste und kostengünstige Prozessfolge sowohl für mono- als auch für multikristalline Siliciumwafer ergeben. Durch die Kontrolle bzw. intelligente Steuerung der entstehenden Reaktionsgase sollen weitere Prozessschritte, wie etwa das Entfernen des Phosphorsilikatglases abgebildet werden. Das Projekt ist in 4 Arbeitspakete untergliedert: AP1: Prozessentwicklung einseitiger Politurprozess an Durchlaufanlage, AP2: Gasphasenätzen zur PSG Entfernung und Emitteroptimierung, AP3: Entwicklung von in situ-Prozesskontrollmöglichkeiten, AP4: Integration der Prozesssequenzen in hocheffizienten PERC Solarzellenprozess.