Das Projekt "Synthese von neuen Prozessgasen fuer die Abscheidung von amorphem Silicium(carbid) a-Si(C)" wird vom Umweltbundesamt gefördert und von Technische Universität München, Anorganisch-Chemisches Institut durchgeführt. Amorphes Silicium fuer photovoltaische Zwecke wird nach konventionellen Methoden aus Silangas hergestellt, dem zum Zwecke der Dotierung in kleinen Mengen Fremdgase zugemischt werden. Wenn zur Veraenderung der elektronischen Eigenschaften Legierungen mit Kohlenstoff oder anderen Elementen abgeschieden werden sollen, dann wird zusaetzlich ein Kohlenstofftraeger zugegeben, zB Methan oder Acetylen. Diese Trennung von Silicium- und Kohlenstoffquelle bringt viele Nachteile mit sich, so dass hier und an vielen anderen Stellen schon frueh erwogen worden ist, Gase einzusetzen, die von vornherein alle notwendigen Komponenten enthalten. Das so thematisch vorgegebene Forschungsprogramm hat die Darstellung neuer Prozessgase zum Ziel, aus denen sich unter geeigneten Bedingungen amorphe Schichten von Siliciumcarbid gewinnen liessen, die in ihren Eigenschaften mindestens den Materialien entsprechen, die nach etablierten Verfahren erhalten werden. Im einzelnen gelten die laufenden Aktivitaeten der Herstellung von Polysilylmethanen, -ethenen und -ethinen mit hohem Siliciumgehalt. Schon entwickelte Verfahren sollen weiter optimiert und neue Verfahren sollen gefunden werden. In einer begleitenden Versuchsreihe werden darueberhinaus Vorstufen fuer amorphes Siliciumnitrid hergestel, um auch verbesserte Moeglichkeiten zur Abscheidung von sog Plasmanitrid zu eroeffnen. Die neuen Prozessgase muessen den Anforderungen entsprechend in Reinstform erhalten und analytisch spezifiziert werden. Es sind Verfahren zu ihrer Handhabung zu entwickeln, wobei die geringere Empfindlichkeit gegen Luft und Feuchtigkeit wichtige Vorteile bringen sollte. Polysilylmethane sind naemlich in der Regel nicht selbstentzuendlich.