Das Projekt "Entwicklung von Waermedaemmung-Schichtsystemen fuer die grossflaechige Glasbeschichtung" wird vom Umweltbundesamt gefördert und von Leybold Systems durchgeführt. Das Vorhaben befasst sich mit der Entwicklung neuartiger Schichtsysteme und Beschichtungsprozesse fuer die kostenguenstige Herstellung von waermedaemmendem Architekturglas. Neben der Wirtschaftlichkeit der Verfahren stehen die Verbesserung der Waermedaemmung (niedriger k-Wert), der optischen Eigenschaften, der Resistenz gegenueber Umwelteinfluessen sowie die Temper- und Biegbarkeit des beschichteten Glases im Vordergrund. Bestehende Schichtsysteme auf Silberbasis (Glas-SnO2-Ag-Blocker-SnO2,) sollen durch neue Blockermaterialien sowie durch Modifikation der SnO2-Schutz- und Entspiegelungsschicht optimiert werden. Im Hinblick auf eine wirtschaftliche Beschichtung wird fuer die Abscheidung der Ag- und Blockerschichten gepulste DC-Magnetronzerstaeubung untersucht. Fuer die Herstellung der Oxidschichten kommt reaktive Mittelfrequenz-Zerstaeubung mit einem Zwillingsmagnetron als neuartiges Verfahren zum Einsatz. Ein zweites Teilprojekt befasst sich mit der Untersuchung von transparent leitfaehigen Schichten aus dotiertem SnO2 und ZnO sowie In2O3SnO2 (ITO). Der Auswahl des optimalen Materials folgt auch hier die Entwicklung eines wirtschaftlichen Beschichtungsprozesses auf der Basis des MF-Sputterns. Untersuchungen zur In-Situ-Prozessregelung begleiten die Arbeiten. Die entwickelten Prozesse werden bis auf Magnetronlaengen von 3.750 mm hochskaliert und in einer Anlage fuer 3.21 m Glasbreite bei einem der Verbundpartner demonstriert.