Das Projekt "Stabile amorphe Halbleiterfilme fuer Solarzellen" wird vom Umweltbundesamt gefördert und von Universität Marburg, Fachbereich Physik durchgeführt. Ziel dieses Vorhabens ist die Herstellung stabilerer amorpher Siliziumfilme (A-Si:H) durch Plasmadeposition. Dazu werden die Depositionsbedingungen bei der Filmherstellung in einem weiten Bereich variiert: Hoehere Substrattemperaturen (T groesser als 25 Grad C) und hohe Abscheideraten, Verduennung mit Edelgasen, Reaktorgeometrie, Verwendung alternativer Gase. Die Stabilitaet der Filme wird mit verschiedenen Degradationsverfahren vergleichend geprueft. Die Filme werden hinsichtlich ihrer elektronischen und strukturellen Eigenschaften untersucht mit dem Ziel, einen Zusammenhang zwischen Stabilitaet und andere Probeneigenschaften aufzufinden. Die Auswirkung der Defekterzeugung auf die Traegerkombination wird an Filmen und Solarzellen studiert.